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4OM-1839 3-3-48 1603-001 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 42710a 排出コンベアセンサ検出 排出コンベア上に基板が検出されませんでした 基板が正しく検出されているか確認してください。 センサが故障していないか確認してください。 42710b 排出コンベアセンサ検出 後工程排出動作中に停止センサを通過しませんでした 基板がセンサを通過する前に、コンベア動作が停止しています。 ①排出方式・搬送速度・…
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異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
426301 位置決めコンベア異常
位置決めコンベア動作中に異常が発生しました
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426302 位置決めコンベア異常
位置決め変更動作中に異常が発生しました
コンベア上の基板を確認してください。
427101 排出コンベアセンサ検出
動作開始前に減速センサを検出しました
排出コンベアセンサを検出しました、不定基板がある場合は取除いてください。
基板が無い場合はセンサ誤検出の可能性があります、センサを清掃してください。
427102 排出コンベアセンサ検出
動作開始前に減速センサが検出されませんでした
排出する基板が見つかりません。
①センサ上に基板を置いてください。
②基板が落下している可能性があります、コンベア幅が合っているか確認して
ください。
427103 排出コンベアセンサ検出
動作開始前に停止センサを検出しました
排出コンベアセンサを検出しました、不定基板がある場合は取除いてください。
基板が無い場合はセンサ誤検出の可能性があります、センサを清掃してください。
427104 排出コンベアセンサ検出
動作開始前に停止センサが検出されませんでした
排出する基板が見つかりませんでした。
①基板がセンサに検出されているか確認してください。
②基板が落下している可能性があります、コンベア幅が合っているか確認して
ください。
427105 排出コンベアセンサ検出
動作完了後に減速センサ上で基板を検出しました
排出コンベアセンサを検出しました、不定基板がある場合は取除いてください。
基板が無い場合はセンサ誤検出の可能性があります、センサを清掃してください。
427106 排出コンベアセンサ検出
動作完了後に減速センサ上の基板が検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
427107 排出コンベアセンサ検出
動作完了後に停止センサ上で基板を検出しました
排出コンベアセンサを検出しました、不定基板がある場合は取除いてください。
基板が無い場合はセンサ誤検出の可能性があります、センサを清掃してください。
427108 排出コンベアセンサ検出
動作完了後に停止センサ上の基板が検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
427109 排出コンベアセンサ検出
排出コンベア上に基板が検出されました
コンベア上の基板を取除いてください。
3.3 コンベア
4OM-1839
3-3-481603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
42710a 排出コンベアセンサ検出
排出コンベア上に基板が検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
42710b 排出コンベアセンサ検出
後工程排出動作中に停止センサを通過しませんでした
基板がセンサを通過する前に、コンベア動作が停止しています。
①排出方式・搬送速度・タイマ設定を確認してください
②接続ケーブルを確認してください
42710c 排出コンベアセンサ検出
排出コンベア基板外れ
排出コンベア上の基板が取除かれました。
故意に取除いたのでなければ基板の状態を確認してください。
42710d 排出コンベアセンサ検出
排出コンベアに基板が差し込まれました
差し込んだ基板を取除いてください
427201 排出コンベアタイムアウト
取込動作が所定時間内に完了しませんでした
①基板が引っかかっているか、コンベア上から落下した可能性があります。
コンベア上を確認してください。
②コンベア上の基板記憶状態と取込状態が一致していません。
基板記憶情報があれば編集画面でクリアしてください。または取除いた基板を戻
してください。
427202 排出コンベアタイムアウト
排出動作が所定時間内に完了しませんでした
①基板が引っかかっているか、コンベア上から落下した可能性があります。
後工程装置との乗り継ぎを確認してください。
②排出コンベア上に基板記憶情報があれば編集画面でクリアしてください。
または取除いた基板を戻してください。
427301 排出コンベア異常
排出コンベア動作中に異常が発生しました
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427401 中間コンベア異常
前工程装置からの取込動作でタイムアウトが発生しました
装置内に基板が取り込まれていません、中間コンベアを確認してください。
①非常停止が押されていないか
②安全カバーが開いていないか
③ブレーカーが落ちていないか
中間コンベア上に基板がある場合は、取除くか供給コンベア上へ置いてください。
427402 中間コンベア異常
後工程装置への排出動作でタイムアウトが発生しました
装置から基板が排出されていません、中間コンベアを確認してください。
①非常停止が押されていないか
②安全カバーが開いていないか
③ブレーカーが落ちていないか
3.3 コンベア
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3-3-491603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
428001 前後工程通信異常
前工程信号切断
基板取込動作中に前工程からのワーク搬送信号が切断されました。
①前工程装置の搬送方式を確認してください
②接続ケーブルを確認してください
428002 前後工程通信異常
後工程信号切断
基板取込動作中に後工程からのワーク要求信号が切断されました。
①後工程装置の搬送方式を確認してください
②接続ケーブルを確認してください
428101 ライン基板移載異常
取り込み動作タイムアウト
ライン基板移載が所定時間内に完了しませんでした。
①基板が引っかかっている可能性があります、コンベア上を確認してください。
②接続ケーブルが正しく接続されているか確認してください。
428201 装置間搬送動作異常
前工程動作開始タイムアウト
前工程装置からの排出動作が開始されませんでした。
前工程装置で異常が発生しています。
428202 装置間搬送動作異常
後工程動作開始タイムアウト
後工程装置からの動作開始信号が受信できませんでした。
後工程装置で異常が発生しています。
428203 装置間搬送動作異常
後工程装置異常
後工程装置の取り込み動作中に異常が発生しました。搬送動作を停止します。
429001 手動移載異常
コンベア動作タイムアウト
所定時間内にコンベアが停止しませんでした。
搬送ドライバの状態を確認してください。
42a001 シャトルコンベア通信異常
シャトルコンベア制御情報の取得に失敗しました。
CPU1 ⇔ CPU2 間で通信異常が発生しています。装置を再起動してください。
42a101 供給側シャトルコンベアセンサ検出
動作開始前に減速センサを検出しました
シャトルコンベア上の基板を取除いてください。
42a102 供給側シャトルコンベアセンサ検出
動作開始前に減速センサが検出されませんでした
装置内に取り込む基板が見つかりません。
①センサ上に基板を置いてください。
②基板が落下している可能性があります、コンベア幅が合っているか確認して
ください。
42a103 供給側シャトルコンベアセンサ検出
動作開始前に停止センサを検出しました
シャトルコンベア上の基板を取除いてください。
3.3 コンベア