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4OM-1839 3-3-50 1603-001 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 42a104 供給側シャトルコンベアセンサ検出 動作開始前に停止センサが検出されませんでした 装置内に取り込む基板が見つかりませんでした。 ①基板がセンサに検出されているか確認してください。 ②基板が落下している可能性があります、コンベア幅が合っているか確認して ください。 42a105 供給側シャトルコンベアセンサ検出 動作完了後に減速セン…
4OM-1839
3-3-491603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
428001 前後工程通信異常
前工程信号切断
基板取込動作中に前工程からのワーク搬送信号が切断されました。
①前工程装置の搬送方式を確認してください
②接続ケーブルを確認してください
428002 前後工程通信異常
後工程信号切断
基板取込動作中に後工程からのワーク要求信号が切断されました。
①後工程装置の搬送方式を確認してください
②接続ケーブルを確認してください
428101 ライン基板移載異常
取り込み動作タイムアウト
ライン基板移載が所定時間内に完了しませんでした。
①基板が引っかかっている可能性があります、コンベア上を確認してください。
②接続ケーブルが正しく接続されているか確認してください。
428201 装置間搬送動作異常
前工程動作開始タイムアウト
前工程装置からの排出動作が開始されませんでした。
前工程装置で異常が発生しています。
428202 装置間搬送動作異常
後工程動作開始タイムアウト
後工程装置からの動作開始信号が受信できませんでした。
後工程装置で異常が発生しています。
428203 装置間搬送動作異常
後工程装置異常
後工程装置の取り込み動作中に異常が発生しました。搬送動作を停止します。
429001 手動移載異常
コンベア動作タイムアウト
所定時間内にコンベアが停止しませんでした。
搬送ドライバの状態を確認してください。
42a001 シャトルコンベア通信異常
シャトルコンベア制御情報の取得に失敗しました。
CPU1 ⇔ CPU2 間で通信異常が発生しています。装置を再起動してください。
42a101 供給側シャトルコンベアセンサ検出
動作開始前に減速センサを検出しました
シャトルコンベア上の基板を取除いてください。
42a102 供給側シャトルコンベアセンサ検出
動作開始前に減速センサが検出されませんでした
装置内に取り込む基板が見つかりません。
①センサ上に基板を置いてください。
②基板が落下している可能性があります、コンベア幅が合っているか確認して
ください。
42a103 供給側シャトルコンベアセンサ検出
動作開始前に停止センサを検出しました
シャトルコンベア上の基板を取除いてください。
3.3 コンベア
4OM-1839
3-3-501603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
42a104 供給側シャトルコンベアセンサ検出
動作開始前に停止センサが検出されませんでした
装置内に取り込む基板が見つかりませんでした。
①基板がセンサに検出されているか確認してください。
②基板が落下している可能性があります、コンベア幅が合っているか確認して
ください。
42a105 供給側シャトルコンベアセンサ検出
動作完了後に減速センサ上で基板を検出しました
シャトルコンベア上の基板を取除いてください。
42a106 供給側シャトルコンベアセンサ検出
動作完了後に減速センサ上の基板が検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
42a107 供給側シャトルコンベアセンサ検出
動作完了後に停止センサ上で基板を検出しました
シャトルコンベア上の基板を取除いてください。
42a108 供給側シャトルコンベアセンサ検出
動作完了後に停止センサ上の基板が検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
42a109 供給側シャトルコンベアセンサ検出
シャトルコンベア上に基板が検出されました
コンベア上の基板を取除いてください。
42a10a 供給側シャトルコンベアセンサ検出
シャトルコンベア上に基板が検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
42a10b 供給側シャトルコンベアセンサ検出
前工程からシャトルコンベアに基板が到達していません
前工程装置からの基板受け渡しがされていません。
前工程コンベア上で基板が引っ掛かっていないか確認してください。
42a10c 供給側シャトルコンベアセンサ検出
シャトルコンベア上に基板が残留しています
装置内への取込が正常に完了していません。基板の位置を確認してください。
42a10d 供給側シャトルコンベアセンサ検出
シャトルコンベア上の基板がなくなりました
運転続行可能です。故意に取除いたのでなければ基板がずれていないか確認して
ください。
42a10e 供給側シャトルコンベアセンサ検出
シャトルコンベアに基板が差し込まれました
基板を取り込めない状態で基板が差し込まれました、差し込んだ基板を取除いて
ください。
3.3 コンベア
4OM-1839
3-3-511603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
42a10f 供給側シャトルコンベアセンサ検出
シャトルコンベアのセンサが両方検出されています。
基板が 2 枚取り込まれている可能性があります、不定基板を取り除いてください。
前工程からの基板受渡タイミング、設定を確認してください。
42a201 供給側シャトルコンベアタイムアウト
前工程装置からの取込動作中にタイムアウトが発生しました。
基板がコンベア上で停止している可能性があります
①基板の位置を確認してください
②コンベア幅が合っているか確認してください
③システム設定の供給コンベアタイマー値を設定して、取込時間を調整してくだ
さい
42a202 供給側シャトルコンベアタイムアウト
装置内への取込動作中にタイムアウトが発生しました。
基板がコンベア間で停止しています、基板の位置を確認してください
①シャトルコンベアからの乗り継ぎ位置が合っているか確認してください
②コンベア幅が合っているか確認してください
42a203 供給側シャトルコンベアタイムアウト
前工程装置からの授受位置移動中にタイムアウトが発生しました
ユニットに異常が無いか、干渉物が無いか確認してください。
42a204 供給側シャトルコンベアタイムアウト
装置内への受渡位置移動中にタイムアウトが発生しました
ユニットに異常が無いか、干渉物が無いか確認してください。
42a301 供給側シャトルコンベア異常
シャトルコンベア動作中に異常が発生しました
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42b101 排出側シャトルコンベア検出
動作開始前に減速センサを検出しました
シャトルコンベア上の基板を取除いてください。
42b102 排出側シャトルコンベア検出
動作開始前に減速センサが検出されませんでした
排出する基板が見つかりませんでした。
①基板がセンサに検出されているか確認してください。
②基板が落下している可能性があります、コンベア幅が合っているか確認して
ください。
42b103 排出側シャトルコンベア検出
動作開始前に停止センサを検出しました
シャトルコンベア上の基板を取除いてください。
42b104 排出側シャトルコンベア検出
動作開始前に停止センサが検出されませんでした
排出する基板が見つかりませんでした。
①基板がセンサに検出されているか確認してください。
②基板が落下している可能性があります、コンベア幅が合っているか確認して
ください。
3.3 コンベア