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4OM-1839 3-3-51 1603-001 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 42a10f 供給側シャトルコンベアセンサ検出 シャトルコンベアのセンサが両方検出されています。 基板が 2 枚取り込まれている可能性があります、 不定基板を取り除いてください。 前工程からの基板受渡タイミング、設定を確認してください。 42a201 供給側シャトルコンベアタイムアウト 前工程装置からの取込動作中にタイムアウトが発生しました。…
4OM-1839
3-3-501603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
42a104 供給側シャトルコンベアセンサ検出
動作開始前に停止センサが検出されませんでした
装置内に取り込む基板が見つかりませんでした。
①基板がセンサに検出されているか確認してください。
②基板が落下している可能性があります、コンベア幅が合っているか確認して
ください。
42a105 供給側シャトルコンベアセンサ検出
動作完了後に減速センサ上で基板を検出しました
シャトルコンベア上の基板を取除いてください。
42a106 供給側シャトルコンベアセンサ検出
動作完了後に減速センサ上の基板が検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
42a107 供給側シャトルコンベアセンサ検出
動作完了後に停止センサ上で基板を検出しました
シャトルコンベア上の基板を取除いてください。
42a108 供給側シャトルコンベアセンサ検出
動作完了後に停止センサ上の基板が検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
42a109 供給側シャトルコンベアセンサ検出
シャトルコンベア上に基板が検出されました
コンベア上の基板を取除いてください。
42a10a 供給側シャトルコンベアセンサ検出
シャトルコンベア上に基板が検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
42a10b 供給側シャトルコンベアセンサ検出
前工程からシャトルコンベアに基板が到達していません
前工程装置からの基板受け渡しがされていません。
前工程コンベア上で基板が引っ掛かっていないか確認してください。
42a10c 供給側シャトルコンベアセンサ検出
シャトルコンベア上に基板が残留しています
装置内への取込が正常に完了していません。基板の位置を確認してください。
42a10d 供給側シャトルコンベアセンサ検出
シャトルコンベア上の基板がなくなりました
運転続行可能です。故意に取除いたのでなければ基板がずれていないか確認して
ください。
42a10e 供給側シャトルコンベアセンサ検出
シャトルコンベアに基板が差し込まれました
基板を取り込めない状態で基板が差し込まれました、差し込んだ基板を取除いて
ください。
3.3 コンベア
4OM-1839
3-3-511603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
42a10f 供給側シャトルコンベアセンサ検出
シャトルコンベアのセンサが両方検出されています。
基板が 2 枚取り込まれている可能性があります、不定基板を取り除いてください。
前工程からの基板受渡タイミング、設定を確認してください。
42a201 供給側シャトルコンベアタイムアウト
前工程装置からの取込動作中にタイムアウトが発生しました。
基板がコンベア上で停止している可能性があります
①基板の位置を確認してください
②コンベア幅が合っているか確認してください
③システム設定の供給コンベアタイマー値を設定して、取込時間を調整してくだ
さい
42a202 供給側シャトルコンベアタイムアウト
装置内への取込動作中にタイムアウトが発生しました。
基板がコンベア間で停止しています、基板の位置を確認してください
①シャトルコンベアからの乗り継ぎ位置が合っているか確認してください
②コンベア幅が合っているか確認してください
42a203 供給側シャトルコンベアタイムアウト
前工程装置からの授受位置移動中にタイムアウトが発生しました
ユニットに異常が無いか、干渉物が無いか確認してください。
42a204 供給側シャトルコンベアタイムアウト
装置内への受渡位置移動中にタイムアウトが発生しました
ユニットに異常が無いか、干渉物が無いか確認してください。
42a301 供給側シャトルコンベア異常
シャトルコンベア動作中に異常が発生しました
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42b101 排出側シャトルコンベア検出
動作開始前に減速センサを検出しました
シャトルコンベア上の基板を取除いてください。
42b102 排出側シャトルコンベア検出
動作開始前に減速センサが検出されませんでした
排出する基板が見つかりませんでした。
①基板がセンサに検出されているか確認してください。
②基板が落下している可能性があります、コンベア幅が合っているか確認して
ください。
42b103 排出側シャトルコンベア検出
動作開始前に停止センサを検出しました
シャトルコンベア上の基板を取除いてください。
42b104 排出側シャトルコンベア検出
動作開始前に停止センサが検出されませんでした
排出する基板が見つかりませんでした。
①基板がセンサに検出されているか確認してください。
②基板が落下している可能性があります、コンベア幅が合っているか確認して
ください。
3.3 コンベア
4OM-1839
3-3-521603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
42b105 排出側シャトルコンベア検出
動作完了後に減速センサ上で基板を検出しました
シャトルコンベア上の基板を取除いてください。
42b106 排出側シャトルコンベア検出
動作完了後に減速センサ上の基板が検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
42b107 排出側シャトルコンベア検出
動作完了後に停止センサ上で基板を検出しました
シャトルコンベア上の基板を取除いてください。
42b108 排出側シャトルコンベア検出
動作完了後に停止センサ上の基板が検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
42b109 排出側シャトルコンベア検出
シャトルコンベア上に基板が検出されました
コンベア上の基板を取除いてください。
42b10a 排出側シャトルコンベア検出
シャトルコンベア上に基板が検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
42b10b 排出側シャトルコンベア検出
装置内からシャトルコンベアに基板が到達していません
装置からの基板受け渡しがされていません。
排出コンベア上で基板が引っ掛かっていないか確認してください。
42b10c 排出側シャトルコンベア検出
シャトルコンベア上に基板が残留しています
後工程装置への排出が正常に完了していません。基板の位置を確認してください。
42b10d 排出側シャトルコンベア検出
シャトルコンベア上の基板がなくなりました
運転続行可能です。故意に取除いたのでなければ基板がずれていないか確認して
ください。
42b10e 排出側シャトルコンベア検出
シャトルコンベアに基板が差し込まれました
基板を取り込めない状態で基板が差し込まれました、差し込んだ基板を取除いて
ください。
42b10f 排出側シャトルコンベア検出
シャトルコンベアのセンサが両方検出されています。
基板が 2 枚取り込まれている可能性があります、不定基板を取り除いてください。
3.3 コンベア