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4OM-1839 3-3-57 1603-001 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 46010e 基板認識 ランド認識に失敗しました 以下の方法を実施してください。 1. 対象のマークが基板上にあることを確認する 2. 基板位置決めをやり直す 46010f 基板認識 ユニット基板認識 1 点目 ----- 460110 基板認識 ユニット基板認識 2 点目 ----- 460111 基板認識 ユニット基板認識 3 点目 --…
4OM-1839
3-3-561603-001
3.5 基板認識
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
460101 基板認識
全体基板認識 1 点目
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460102 基板認識
全体基板認識 2 点目
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460103 基板認識
全体基板認識 3 点目
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460104 基板認識
割り基板認識 1 点目
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460105 基板認識
割り基板認識 2 点目
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460106 基板認識
割り基板認識 3 点目
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460107 基板認識
個々基板認識 1 点目
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460108 基板認識
個々基板認識 2 点目
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460109 基板認識
個々基板認識 3 点目
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46010a 基板認識
ランド基板認識 1 点目
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46010b 基板認識
ランド基板認識 2 点目
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46010c 基板認識
ランド基板認識 3 点目
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46010d 基板認識
基板認識に失敗しました
以下の方法を実施してください。
1. 基板位置決めをやり直す
2. 基板認識マーク位置が正しいか確認する
3.5 基板認識
4OM-1839
3-3-571603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
46010e 基板認識
ランド認識に失敗しました
以下の方法を実施してください。
1. 対象のマークが基板上にあることを確認する
2. 基板位置決めをやり直す
46010f 基板認識
ユニット基板認識 1 点目
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460110 基板認識
ユニット基板認識 2 点目
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460111 基板認識
ユニット基板認識 3 点目
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460201 2D バーコード異常
2D バーコードの読み取りに失敗しました。
以下の確認を実施してください。
1. 基板位置決め状態
2.2D バーコード位置指定
3.2D バーコードの汚れの有無
T4C9
3.5 基板認識
4OM-1839
3-3-581603-001
3.6 自動段取り
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
490603 コンベア幅自動段取り
L コンベア上に基板が存在します。
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490604 コンベア幅自動段取り
P コンベア上に基板が存在します。
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490617 コンベア幅自動段取り
ソフトリミット
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490690 コンベア幅自動段取り
自動段取り異常 ( その他 )
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490701 ノズル段取り
ノズルストッカがセットされていません。
ストッカベースに正確にセットされているか確認して下さい。
490702 ノズル段取り
モータ異常を検出しました。
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490703 ノズル段取り
ノズルストッカシャッター開閉動作に失敗しました。
ノズルの浮き上がりが無いか、開閉に引っ掛かり等ないか確認して下さい。
490704 ノズル段取り
ノズルストッカ上下動作に失敗しました。
上下シリンダに異常が無いか確認して下さい。
490705 ノズル段取り
装着するノズルがストッカにありません。
ストッカ配置データと実配置に違いが無いか確認してください。
490707 ノズル段取り
ノズル交換動作にはノズルストッカに最低 1 つの空きスペースが必要です、空き
スペースを確保してください。
ストッカ配置データを確認してください。
490708 ノズル段取り
生産に必要なノズルが不足しています。
不足しているノズルをノズルストッカに設置してください。
490709 ノズル段取り
ノズル交換データ異常が発生しました。
ノズル配置・ストッカ配置データを確認してください。
49070a ノズル段取り
ノズルストッカ位置教示に失敗しました。
教示画面でノズルストッカ位置を再教示をしてください。
3.6 自動段取り