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4OM-1839 3-3-63 1603-001 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 49075D ノズル段取り XY 軸の起動に失敗しました ----- 49075E ノズル段取り DD 軸の起動に失敗しました ----- 49075F ノズル段取り NS 軸の起動に失敗しました ----- 490760 ノズル段取り Z 軸の起動に失敗しました ----- 490761 ノズル段取り XY 軸の動作が所定時間内に完了しませ…
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3-3-621603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
49074E ノズル段取り
ラインセンサ計測開始位置の座標計算で異常が発生しました
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49074F ノズル段取り
ラインセンサ計測終了位置の座標計算で異常が発生しました
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490750 ノズル段取り
ノズル ID 認識位置の座標計算で異常が発生しました
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490751 ノズル段取り
ストッカ内ノズル認識位置の座標計算で異常が発生しました
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490752 ノズル段取り
ノズル交換位置の座標計算で異常が発生しました ( ノズル装着 )
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490753 ノズル段取り
ノズル装着高さ計算で異常が発生しました ( ノズル装着 )
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490754 ノズル段取り
ノズル装着高さ計算で異常が発生しました ( ノズル装着 )
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490755 ノズル段取り
ノズル交換位置の座標計算で異常が発生しました ( ノズル収納 )
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490756 ノズル段取り
ノズル収納高さ計算で異常が発生しました ( ノズル収納 )
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490757 ノズル段取り
ノズル収納高さ計算で異常が発生しました ( ノズル収納 )
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490758 ノズル段取り
XY 軸のシーケンスデータ設定で異常が発生しました
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490759 ノズル段取り
DD 軸の駆動波形設定で異常が発生しました
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49075A ノズル段取り
NS 軸の駆動波形設定で異常が発生しました
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49075B ノズル段取り
Z 軸の駆動波形設定で異常が発生しました
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49075C ノズル段取り
XY ビームの起動が所定時間内に完了しませんでした
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3.6 自動段取り
4OM-1839
3-3-631603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
49075D ノズル段取り
XY 軸の起動に失敗しました
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49075E ノズル段取り
DD 軸の起動に失敗しました
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49075F ノズル段取り
NS 軸の起動に失敗しました
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490760 ノズル段取り
Z 軸の起動に失敗しました
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490761 ノズル段取り
XY 軸の動作が所定時間内に完了しませんでした
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490762 ノズル段取り
XY 軸動作中に異常が発生しました
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490763 ノズル段取り
XY ビーム動作が所定時間内に完了しませんでした
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490764 ノズル段取り
HL 軸の駆動波形設定で異常が発生しました
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490765 ノズル段取り
NL 軸の駆動波形設定で異常が発生しました
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490766 ノズル段取り
NL 軸の駆動波形設定で異常が発生しました
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490767 ノズル段取り
L 軸の駆動波形設定で異常が発生しました
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490768 ノズル段取り
上下軸の起動が所定時間内に完了しませんでした
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490769 ノズル段取り
HL 軸の起動に失敗しました
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49076A ノズル段取り
NL 軸の起動に失敗しました
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49076B ノズル段取り
L 軸の起動に失敗しました
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3.6 自動段取り
4OM-1839
3-3-641603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
49076C ノズル段取り
上下軸の動作が所定時間内に完了しませんでした
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49076D ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯で異常が発生しました
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49076E ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯が所定時間内に終了しませんでした
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49076F ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯で異常が発生しました
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490770 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯で異常が発生しました ( ノズルストッカ教示 )
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490771 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯が所定時間内に終了しませんでした
( ノズルストッカ教示 )
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490772 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯で異常が発生しました ( ノズルストッカ教示 )
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490773 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯で異常が発生しました ( ノズル認識 )
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490774 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯が所定時間内に終了しませんでした ( ノズル認識 )
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490775 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯で異常が発生しました ( ノズル認識 )
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490776 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の消灯で異常が発生しました
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490777 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の消灯が所定時間内に終了しませんでした
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490778 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の消灯で異常が発生しました
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490779 ノズル段取り
基板認識カメラの画像取り込みで異常が発生しました
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3.6 自動段取り