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4OM-1839 3-3-64 1603-001 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 49076C ノズル段取り 上下軸の動作が所定時間内に完了しませんでした ----- 49076D ノズル段取り 基板認識カメラ照明の点灯で異常が発生しました ----- 49076E ノズル段取り 基板認識カメラ照明の点灯が所定時間内に終了しませんでした ----- 49076F ノズル段取り 基板認識カメラ照明の点灯で異常が発生しました …
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3-3-631603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
49075D ノズル段取り
XY 軸の起動に失敗しました
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49075E ノズル段取り
DD 軸の起動に失敗しました
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49075F ノズル段取り
NS 軸の起動に失敗しました
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490760 ノズル段取り
Z 軸の起動に失敗しました
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490761 ノズル段取り
XY 軸の動作が所定時間内に完了しませんでした
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490762 ノズル段取り
XY 軸動作中に異常が発生しました
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490763 ノズル段取り
XY ビーム動作が所定時間内に完了しませんでした
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490764 ノズル段取り
HL 軸の駆動波形設定で異常が発生しました
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490765 ノズル段取り
NL 軸の駆動波形設定で異常が発生しました
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490766 ノズル段取り
NL 軸の駆動波形設定で異常が発生しました
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490767 ノズル段取り
L 軸の駆動波形設定で異常が発生しました
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490768 ノズル段取り
上下軸の起動が所定時間内に完了しませんでした
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490769 ノズル段取り
HL 軸の起動に失敗しました
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49076A ノズル段取り
NL 軸の起動に失敗しました
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49076B ノズル段取り
L 軸の起動に失敗しました
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3.6 自動段取り
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3-3-641603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
49076C ノズル段取り
上下軸の動作が所定時間内に完了しませんでした
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49076D ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯で異常が発生しました
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49076E ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯が所定時間内に終了しませんでした
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49076F ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯で異常が発生しました
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490770 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯で異常が発生しました ( ノズルストッカ教示 )
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490771 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯が所定時間内に終了しませんでした
( ノズルストッカ教示 )
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490772 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯で異常が発生しました ( ノズルストッカ教示 )
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490773 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯で異常が発生しました ( ノズル認識 )
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490774 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯が所定時間内に終了しませんでした ( ノズル認識 )
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490775 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯で異常が発生しました ( ノズル認識 )
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490776 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の消灯で異常が発生しました
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490777 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の消灯が所定時間内に終了しませんでした
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490778 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の消灯で異常が発生しました
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490779 ノズル段取り
基板認識カメラの画像取り込みで異常が発生しました
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3.6 自動段取り
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3-3-651603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
49077A ノズル段取り
基板認識カメラの画像取り込みが所定時間内に終了しませんでした
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49077B ノズル段取り
基板認識カメラの画像取り込みで異常が発生しました
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49077C ノズル段取り
ノズルストッカマーク認識で異常が発生しました
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49077D ノズル段取り
ノズルストッカマーク認識が所定時間内に終了しませんでした
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49077E ノズル段取り
ノズルストッカマーク認識で異常が発生しました
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49077F ノズル段取り
ノズル有無認識で異常が発生しました
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490780 ノズル段取り
ノズル有無認識が所定時間内に終了しませんでした
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490781 ノズル段取り
ノズル有無認識で異常が発生しました
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490782 ノズル段取り
ノズル ID 認識で異常が発生しました
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490783 ノズル段取り
ノズル ID 認識が所定時間内に終了しませんでした
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490784 ノズル段取り
ノズル ID 認識で異常が発生しました
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490785 ノズル段取り
ラインセンサ計測開始タイムアウト
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490786 ノズル段取り
ラインセンサ計測結果読み出しタイムアウト
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490787 ノズル段取り
ラインセンサ計測結果に異常がありました
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490788 ノズル段取り
ラインセンサ計測開始タイムアウト ( ノズル径確認 )
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3.6 自動段取り