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4OM-1839 3-3-65 1603-001 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 49077A ノズル段取り 基板認識カメラの画像取り込みが所定時間内に終了しませんでした ----- 49077B ノズル段取り 基板認識カメラの画像取り込みで異常が発生しました ----- 49077C ノズル段取り ノズルストッカマーク認識で異常が発生しました ----- 49077D ノズル段取り ノズルストッカマーク認識が所定時間内に…

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3-3-641603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
49076C ノズル段取り
上下軸の動作が所定時間内に完了しませんでした
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49076D ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯で異常が発生しました
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49076E ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯が所定時間内に終了しませんでした
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49076F ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯で異常が発生しました
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490770 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯で異常が発生しました ( ノズルストッカ教示 )
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490771 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯が所定時間内に終了しませんでした
( ノズルストッカ教示 )
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490772 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯で異常が発生しました ( ノズルストッカ教示 )
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490773 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯で異常が発生しました ( ノズル認識 )
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490774 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯が所定時間内に終了しませんでした ( ノズル認識 )
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490775 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の点灯で異常が発生しました ( ノズル認識 )
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490776 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の消灯で異常が発生しました
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490777 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の消灯が所定時間内に終了しませんでした
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490778 ノズル段取り
基板認識カメラ照明の消灯で異常が発生しました
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490779 ノズル段取り
基板認識カメラの画像取り込みで異常が発生しました
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3.6 自動段取り

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3-3-651603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
49077A ノズル段取り
基板認識カメラの画像取り込みが所定時間内に終了しませんでした
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49077B ノズル段取り
基板認識カメラの画像取り込みで異常が発生しました
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49077C ノズル段取り
ノズルストッカマーク認識で異常が発生しました
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49077D ノズル段取り
ノズルストッカマーク認識が所定時間内に終了しませんでした
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49077E ノズル段取り
ノズルストッカマーク認識で異常が発生しました
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49077F ノズル段取り
ノズル有無認識で異常が発生しました
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490780 ノズル段取り
ノズル有無認識が所定時間内に終了しませんでした
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490781 ノズル段取り
ノズル有無認識で異常が発生しました
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490782 ノズル段取り
ノズル ID 認識で異常が発生しました
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490783 ノズル段取り
ノズル ID 認識が所定時間内に終了しませんでした
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490784 ノズル段取り
ノズル ID 認識で異常が発生しました
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490785 ノズル段取り
ラインセンサ計測開始タイムアウト
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490786 ノズル段取り
ラインセンサ計測結果読み出しタイムアウト
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490787 ノズル段取り
ラインセンサ計測結果に異常がありました
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490788 ノズル段取り
ラインセンサ計測開始タイムアウト ( ノズル径確認 )
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3.6 自動段取り

4OM-1839
3-3-661603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
490789 ノズル段取り
ラインセンサ計測結果読み出しタイムアウト ( ノズル径確認 )
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49078A ノズル段取り
ラインセンサ計測結果に異常がありました ( ノズル径確認 )
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49078B ノズル段取り
ノズルタイプデータの取得に失敗しました
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49078C ノズル段取り
ノズル交換動作が所定時間内に動作開始できませんでした
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49078D ノズル段取り
ノズル交換動作が所定時間内に終了しませんでした
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49078E ノズル段取り
HL 軸の駆動波形設定で異常が発生しました
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49078F ノズル段取り
NL 軸の駆動波形設定で異常が発生しました
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490790 ノズル段取り
L 軸の駆動波形設定で異常が発生しました
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490791 ノズル段取り
原点位置移動の座標計算で異常が発生しました
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490792 ノズル段取り
HL 軸のシーケンスデータ設定で異常が発生しました
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490793 ノズル段取り
HL 軸動作中に異常が発生しました
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490794 ノズル段取り
L 軸動作中に異常が発生しました
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490795 ノズル段取り
ノズルストッカマーク認識で異常が発生しました。
ストッカ種別が間違っている可能性があります。
ユニット交換画面で設定されているストッカと、装置のストッカ種別が合ってい
るか確認して下さい。問題ない場合は、ノズルストッカの清掃を行って下さい。
490796 ノズル段取り
先端形式が“標準”以外のノズルをヘッド上に隣接して装着することはできませ
ん。
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3.6 自動段取り