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4OM-1839 3-3-82 1603-001 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 497101 段取り前 基板検出 供給コンベア上に基板が検出されました 基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。 ①基板を取除いてください。 ②装置内に基板が残っていないか確認してください。 497102 段取り前 基板検出 位置決めコンベア上 ( 上流位置 ) に基板が検出されました 基板がコンベア上にある状態ではコ…
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異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
497004 手動操作中 アラーム発生
STP 入力を検出しました
STP 入力を検出しました。モータをハード信号にて停止させる機能。
497005 手動操作中 アラーム発生
過電流異常が発生しました
モータ出力ラインに異常な電流を検出しました。
モータ配線、供給電源を確認してください。
497006 手動操作中 アラーム発生
リミットセンサ (+) を検出しました
(+) 方向移動中に +LS 信号を検出しました。
+LS センサの汚れ、断線を確認してください。
497007 手動操作中 アラーム発生
リミットセンサ (-) を検出しました
(-) 方向移動中に -LS 信号を検出しました。
-LS センサの汚れ、断線を確認してください。
497008 手動操作中 アラーム発生
モータ断線を検出しました
モータの断線を検出しました。( 停止中のみ検出を行います )
モータ配線を確認してください。
497009 手動操作中 アラーム発生
制御電源電圧に異常があります
ドライバーへの制御電源が低下しました。電源供給ラインを確認してください。
(24V ライン )
49700a 手動操作中 アラーム発生
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ドライバーの予約機能です。異常検出された場合は問い合わせください。
49700b 手動操作中 アラーム発生
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ドライバーの予約機能です。異常検出された場合は問い合わせください。
49700c 手動操作中 アラーム発生
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ドライバーの予約機能です。異常検出された場合は問い合わせください。
49700d 手動操作中 アラーム発生
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ドライバーの予約機能です。異常検出された場合は問い合わせください。
49700e 手動操作中 アラーム発生
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ドライバーの予約機能です。異常検出された場合は問い合わせください。
49700f 手動操作中 アラーム発生
システム異常が発生しました
ドライバー内部でシステム異常が発生しました。
頻発する場合はドライバー自体の故障が想定されます、
3.6 自動段取り
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異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
497101 段取り前 基板検出
供給コンベア上に基板が検出されました
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
497102 段取り前 基板検出
位置決めコンベア上 ( 上流位置 ) に基板が検出されました
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
497103 段取り前 基板検出
位置決めコンベア上 ( 下流位置 ) に基板が検出されました
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
497104 段取り前 基板検出
排出コンベア上に基板が検出されました
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
497105 段取り前 基板検出
A レーン供給コンベア上に基板が検出されました
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
497106 段取り前 基板検出
A レーン位置決めコンベア上 ( 上流位置 ) に基板が検出されました
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
497107 段取り前 基板検出
A レーン位置決めコンベア上 ( 下流位置 ) に基板が検出されました
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
497108 段取り前 基板検出
A レーン排出コンベア上に基板が検出されました
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
497109 段取り前 基板検出
B レーン供給コンベア上に基板が検出されました
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
3.6 自動段取り
4OM-1839
3-3-831603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
49710a 段取り前 基板検出
B レーン位置決めコンベア上 ( 上流位置 ) に基板が検出されました
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
49710b 段取り前 基板検出
B レーン位置決めコンベア上 ( 下流位置 ) に基板が検出されました
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
49710c 段取り前 基板検出
B レーン排出コンベア上に基板が検出されました
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
49710d 段取り前 基板検出
供給側シャトルコンベア上に基板が検出されました
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
49710e 段取り前 基板検出
排出側シャトルコンベア上に基板が検出されました
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
49710f 段取り前 基板検出
ストッパ下降動作が完了していません。
①ストッパが故障していないか確認してください。
②ストッパに基板が挟まっていないか確認してください。
497110 段取り前 基板検出
A レーン上に基板が検出されました。
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
497111 段取り前 基板検出
B レーン上に基板が検出されました。
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
497201 バックアップピン段取り異常
吸着予定のバックアップピンの認識に失敗しました。
カバーを開け、全バックアップピンをストックエリアに設置した後に、ストック
エリア編集を行ってください。
3.6 自動段取り