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4OM-1839 3-3-84 1603-001 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 497202 バックアップピン段取り異常 バックアップピン配置予定位置に不正なバックアップピンが存在します。 カバーを開け、全バックアップピンをストックエリアに設置した後に、ストック エリア編集を行ってください。 497203 バックアップピン段取り異常 バックアップピン吸着に失敗しました。 装置内にバックアップピンが脱落した可能性があります…
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3-3-831603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
49710a 段取り前 基板検出
B レーン位置決めコンベア上 ( 上流位置 ) に基板が検出されました
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
49710b 段取り前 基板検出
B レーン位置決めコンベア上 ( 下流位置 ) に基板が検出されました
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
49710c 段取り前 基板検出
B レーン排出コンベア上に基板が検出されました
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
49710d 段取り前 基板検出
供給側シャトルコンベア上に基板が検出されました
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
49710e 段取り前 基板検出
排出側シャトルコンベア上に基板が検出されました
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
49710f 段取り前 基板検出
ストッパ下降動作が完了していません。
①ストッパが故障していないか確認してください。
②ストッパに基板が挟まっていないか確認してください。
497110 段取り前 基板検出
A レーン上に基板が検出されました。
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
497111 段取り前 基板検出
B レーン上に基板が検出されました。
基板がコンベア上にある状態ではコンベア幅段取りを実行できません。
①基板を取除いてください。
②装置内に基板が残っていないか確認してください。
497201 バックアップピン段取り異常
吸着予定のバックアップピンの認識に失敗しました。
カバーを開け、全バックアップピンをストックエリアに設置した後に、ストック
エリア編集を行ってください。
3.6 自動段取り
4OM-1839
3-3-841603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
497202 バックアップピン段取り異常
バックアップピン配置予定位置に不正なバックアップピンが存在します。
カバーを開け、全バックアップピンをストックエリアに設置した後に、ストック
エリア編集を行ってください。
497203 バックアップピン段取り異常
バックアップピン吸着に失敗しました。
装置内にバックアップピンが脱落した可能性があります。
カバーを開け、全バックアップピンをストックエリアに設置した後に、ストック
エリア編集を行ってください。
497204 バックアップピン段取り異常
設置後のバックアップピン検出に失敗しました。
装置内にバックアップピンが脱落した可能性があります。
カバーを開け、全バックアップピンをストックエリアに設置した後に、ストック
エリア編集を行ってください。
497205 バックアップピン段取り異常
動作前検出に異常がありました。
ヘッドの状態を確認してください。
497206 バックアップピン段取り異常
動作異常
装置内にバックアップピンが脱落した可能性があります。
カバーを開け、全バックアップピンをストックエリアに設置した後に、ストック
エリア編集を行ってください。
497210 バックアップピン段取り異常
バックアップピン配置に必要な本数が不足しています。
カバーを開け、適切な本数のバックアップピンをストックエリアに設置した後に
ストックエリア編集を行ってください。
497211 バックアップピン段取り異常
バックアップベース上の空きスペースに不要バックアップピンを配置できませ
ん。
カバーを開け、適切な本数のバックアップピンをストックエリアに設置した後に
ストックエリア編集を行ってください。
497212 バックアップピン段取り異常
交換データ作成失敗
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3.6 自動段取り
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3-3-851603-001
3.7 ヘッド
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
4a0101 モータ位置決め異常
モータ位置決め異常
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4a0102 モータ位置決め異常
対向軸位置決めタイムアウト
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4a0201 モータ位置決めタイムアウト
モータ位置決めタイムアウト
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4a0301 モータ起動条件異常
モータ起動条件異常
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4a0401 モータ運転モードセット異常
モータ運転モードセット異常
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4a0501 モータ運転モードセットタイムアウト
モータ運転モードセットタイムアウト
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4a0601 モータ起動指令異常
モータ起動指令異常
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4a0701 モータ起動指令タイムアウト
モータ起動指令タイムアウト
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4a2101 バルブ切替異常
バルブ切替異常
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4a2201 エア真空切替異常
エア真空切替異常
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T4C11
3.7 ヘッド