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4OM-1839 3-3-1 11 1603-001 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 511227 搬送部準備動作異常 基板ストッパ (BREV) の下降が正常に動作していません。 基板ストッパが故障しているか，エアーが入っていない可能性があります。 511301 追加押し込み動作異常 追加押し込み動作が完了しませんでした。 安全カバーを開け、装着部品を確認し、除去または修正してください。 511401 基準マークずれ自動…
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3-3-1101603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
511212
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (AR) の下降が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
511213
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BL) の上昇リミットと下降リミットを同時に検出しました。
配線の確認及びリミットの調整をしてください。
511214
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BL) の上昇が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
511215
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BL) の下降が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
511216
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BR) の上昇リミットと下降リミットを同時に検出しました。
配線の確認及びリミットの調整をしてください。
511217
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BR) の上昇が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
511218
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BR) の下降が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
511219
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (REV) の上昇リミットと下降リミットを同時に検出しました。
配線の確認及びリミットの調整をしてください。
511220
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (REV) の上昇が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか，エアーが入っていない可能性があります。
511221
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (REV) の下降が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか，エアーが入っていない可能性があります。
511222
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (AREV) の上昇リミットと下降リミットを同時に検出しました。
配線の確認及びリミットの調整をしてください。
511223
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (AREV) の上昇が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか，エアーが入っていない可能性があります。
511224
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (AREV) の下降が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか，エアーが入っていない可能性があります。
511225
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BREV) の上昇リミットと下降リミットを同時に検出しました。
配線の確認及びリミットの調整をしてください。
511226
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BREV) の上昇が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか，エアーが入っていない可能性があります。
3.10 生産運転
4OM-1839
3-3-1111603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
511227
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BREV) の下降が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか，エアーが入っていない可能性があります。
511301
追加押し込み動作異常
追加押し込み動作が完了しませんでした。
安全カバーを開け、装着部品を確認し、除去または修正してください。
511401
基準マークずれ自動補正機能
基準マークずれ自動補正処理で異常が発生しました。
基準マーク位置オフセット教示をやり直してください。
511402
基準マークずれ自動補正機能
基準マークずれ自動補正処理でタイムアウトが発生しました。
基準マーク位置オフセット教示をやり直してください。
511403
基準マークずれ自動補正機能
基準マーク認識で異常が発生しました。
基準マーク位置オフセット教示をやり直してください。
T4C14
3.10 生産運転
4OM-1839
3-3-1121603-001
3.11 テスト
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
610101 動作異常
動作異常が発生しました。
再実行してください。
T4C16
3.11 テスト