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4OM-1839 1-4-7 1603-001 4.2 真空系統 4.2 真空系統 真空圧 毎日 点検 所要時間:1分 Fig. 4A4-8
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1-4-6
1603-001
4.1 エア源
(2) フィルタ押さえを左に回しながら引抜く。
フィルタ押さえ
Fig. 4A4-7
(3) フィルタを引抜き、エアブローを行い清掃する。
(4) フィルタを差込み、フィルタ押さえを右に回しながら取付ける。
(5) フィルタカバーを取付ける。
ノート
フィルタが不良になった場合は、新品と交換してください。
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4.2 真空系統
4.2 真空系統
真空圧
毎日 点検 所要時間:1分
Fig. 4A4-8
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1603-001
4.2.1 真空圧の点検
周期：毎日（所要時間：1 分）
真空圧
Fig. 4A4-9
手順
真空圧を目視で確認してください。
真空バルブ全開時 ： Min.-93kPa（Min.70cmHg）以上
運転時 ： Min.-60kPa（Min.45cmHg）以上
ノート
真空圧が不足している場合は、真空経路のエア漏れ、または真空ポンプ
の故障が考えられます。
4.2 真空系統