4M-1839-002w_F8S - 第82页
4OM-1839 1-4-8 1603-001 4.2.1 真空圧の点検 周期：毎日（所要時間：1 分） 真空圧 Fig. 4A4-9 手順 真空圧を目視で確認してください。 真空バルブ全開時 ： Min.-93kPa（Min.70cmHg）以上 運転時 ： Min.-60kPa（Min.45cmHg）以上 ノート 真空圧が不足している場合は、真空経路のエア漏れ、または真空ポンプ の故障が考えられます。 4.2 真空系統
4OM-1839
1-4-7
1603-001
4.2 真空系統
4.2 真空系統
真空圧
毎日 点検 所要時間:1分
Fig. 4A4-8
4OM-1839
1-4-8
1603-001
4.2.1 真空圧の点検
周期：毎日（所要時間：1 分）
真空圧
Fig. 4A4-9
手順
真空圧を目視で確認してください。
真空バルブ全開時 ： Min.-93kPa（Min.70cmHg）以上
運転時 ： Min.-60kPa（Min.45cmHg）以上
ノート
真空圧が不足している場合は、真空経路のエア漏れ、または真空ポンプ
の故障が考えられます。
4.2 真空系統
4OM-1839
1-4-9
1603-001
4.2.2 フィルタの清掃
周期：3 か月ごと（所要時間：10 分）
フィルタケース
C
フィルタ
Fig. 4A4-10
手順
(1) 装置前面下部のカバーの固定ビス (4 本 ) を取外し、カバーを外す。
(2) フィルタケースを矢印 C の方向に回して取外し、中のフィルタを取
外す。
(3) フィルタにエアブローを行い清掃する。
ノート
フィルタは、運転時の真空圧が低下してきた場合は、新品と交換し
てください。
(4) カバーを上に押し当てながら取付け、固定ビスを締める。
注 意
本体装置とカバーの間に隙間があると、運転中に隙間からテープが
飛び出し、故障や異常の原因となります。
4.2 真空系統