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22 NPM-WX/WXS:モシﾞュラーマ ウンタ NPM -W X/W XS:Modular Placement M achine キットレイアウト 製品品番 Model No. 製品名称 Model Name NM- EJ M9D/ NM- EJ M2 E KIT LAYOUT - - U43 ( KEJM9DS-09-22 )
Kit Name
RankQ'ty
番号
Part No.
キット名
品 番 数量 ﾗﾝｸ
頁
Page
No.
21
NPM-WX/WXS:モシﾞュラーマウンタ
NPM-WX/WXS:Modular Placement Machine
キットリスト
製品品番
Model No.
製品名称
Model Name
NM-EJM9D/NM-EJM2E
KIT LIST
1
83
N610095857AB
MULTIFUNCTIONAL TRANSFER
UNIT:NPM
汎用型転写ユニット(メカ):NPM
O345
1
84
N610102174AA
MULTIFUNCTIONAL TRANSFER UNIT(H)
汎用型転写ユニット(制御)
O365
1
85
N610105847AA
SCRAPER
SCRAPER
O367
U42
--
( KEJM9DS-09-21 )
22
NPM-WX/WXS:モシﾞュラーマウンタ
NPM-WX/WXS:Modular Placement Machine
キットレイアウト
製品品番
Model No.
製品名称
Model Name
NM-EJM9D/NM-EJM2E
KIT LAYOUT
--
U43
( KEJM9DS-09-22 )
Kit Name
RankQ'ty
番号
Part No.
キット名
品 番 数量 ﾗﾝｸ
頁
Page
No.
22
NPM-WX/WXS:モシﾞュラーマウンタ
NPM-WX/WXS:Modular Placement Machine
キットリスト
製品品番
Model No.
製品名称
Model Name
NM-EJM9D/NM-EJM2E
KIT LIST
1
86
N610072046AA
GAUGE 0-250micro/scale10micro
膜厚ゲージ 0-250μm/目盛10μm
O369
1
87
N610072047AA
GAUGE 0-500micro/scale20micro
膜厚ゲージ 0-500μm/目盛20μm
O371
1
88
N610076379AA
MAINTENANCE JIG:NPM
メンテナンス治具:NPM
O373
1
89
N610126470AB
Lubrication Set
給油セット
O375
1
90
N610105662AA
Attachment Case
付属品収納ケース
O377
U44
--
( KEJM9DS-09-22 )