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第 1 部 基本编 第 1 章 设备概要 1-2-1-1 基板传送部分的构造 1-2-1-4 基板传送 ⑩ ⑥ ① ② ③ ④ ⑤ ⑦ ⑧ ⑨ ⑪ ⑬ 传 送 口 ( 左 侧 ) 传送口 ( 右侧 ) ⑮ ⑭ ⑫ 1-7
第 1 部 基本编 第 1 章 设备概要
◆打开安全盖时要把盖子向上推，按箭头的方向
（LOCK）推动锁定杆并锁定。确认上了锁之后再 放
开手。
﹡没有上好锁就放开手时，
盖子有落下来的危险。
◆关盖子时先解开锁，再关闭盖子。
把盖子向上提，将锁定杆向 OPEN 方向拉动
解开锁。
（请注意，解开锁时不要使盖子落下来造成人员受伤。）
﹡不要过渡增加盖子、手把等的负荷。
〈﹡注：开关安全盖时的注意事项〉
LOCK（锁定）状态 OPEN（打开）状态
锁定杆
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第 1 部 基本编 第 1 章 设备概要
1-2-1-1 基板传送部分的构造
1-2-1-4 基板传送
⑩
⑥
①
②
③
④
⑤
⑦
⑧
⑨
⑪
⑬
传送口(左侧)
传送口(右侧)
⑮
⑭
⑫
1-7
第 1 部 基本编 第 1 章 设备概要
① 搬入传感器 ⑨ 传送宽度调整手轮
② 停止传感器 ⑩ 减压阀（支撑台用）
③ 止动器 ⑪ 驱动轴
④ 支撑台 UP 传感器 ⑫ 搬出传感器
⑤ 支撑台 DOWN 传感器 ⑬ 止动器电磁阀
⑥ 支撑台电磁阀 ⑭ 传送指示器（左侧）
⑦ 传送马达 ⑮ 传送指示器（右侧）
⑧ 支撑台
基板要插入传送通道时，由位于传送通道入口附近的传送指示器的亮灯状态
来判断。
位于传送通道入口附近的传送指示器亮灯时，为可以插入基板的状态。
熄灯时请勿插入基板。
如在熄灯时插入基板，机器有可能动作不正常。位于传送通道入口附近的传
送指示器亮灯时，可以取出基板。熄灯时请勿取出基板
注意
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