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第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 ● 密封 圈 的更换 1 ） 取下泵头 护罩的 4 个（左右合计共 8 个）内六 角螺栓 (M5×20) 。 2 ） 取下泵头护罩内 测的黑色 密封 圈 ， 共 2 个，更换上新 的密封圈。 ※确认密封圈完 全放入泵头护罩的密 封垫圈槽内，请注意 泵头护罩和泵头盘 间不要相互咬合 。 3 ） 请将固定泵头护 罩用的内六角螺栓 (M 5×20) 用 5.0N ・ m 对角拧紧。 （在更换其它 消耗部 …
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
※本内容的适用对象是机器 Rev 为 JX-100(Rev.C)、LX-100LED(Rev.B)以前的装置。
下列部件的耗损，可能导致压力降低。
<消耗部件表> 更换部件组品号：40099554
检查部位 使用数量 检查内容 检查方法
皮碗式密封件 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等 目检
吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
O 环 S-67 2 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
O 环 P-10 4 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
密封垫圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目检
吸气阀防干扰橡胶 2 有无裂痕、硬化 目检
○更换准备
1) 请确认真空泵没有运行。
※真空泵运行后泵内部会发热，
必须停止，放置约 30 分钟，确认泵已经冷却后，才可开始进行更换、清扫作业。
2) 请拆下主体正面的外罩。松开固定①Dust cover FL 和②Face BR 的③六角凹头螺栓 (M4×8)、取下
①Dust cover FL 和②Face BR。
3) 拆下连接真空泵的气管、再拆下线綑(电源、地线)④、把固定⑤VAC_PUMP_PLATE 的⑥六角凹头螺栓
(M4×8)拆下来。
4) 把真空泵从主体中取出。
(取出时，请注意线綑。)
更换 过滤器及
叶片的更换②
使用工具 ：
六角扳手、螺丝刀
更换频度 ：9 个月
④
⑤
⑥
①
③
③
②
③
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第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
●密封圈的更换
1） 取下泵头护罩的 4 个（左右合计共 8 个）内六角螺栓(M5×20)。
2） 取下泵头护罩内测的黑色
密封圈，共 2 个，更换上新的密封圈。
※确认密封圈完全放入泵头护罩的密封垫圈槽内，请注意泵头护罩和泵头盘间不要相互咬合。
3） 请将固定泵头护罩用的内六角螺栓(M5×20)用 5.0N・m 对角拧紧。（在更换其它消耗部件时，在
不关闭护罩状态下参照各部位的更换工工序项目）
●
更换 O 环 S-67
1） 用与更换密封圈同一要领，卸下泵头护罩和泵头盘。
※泵头盘与碗形密封气缸之间的Ｏ环 S-67 有时会粘连在一起，
遇此情况请抓住泵头盘向上提，碗形密封气缸就会被一起提上来。
之后，再进行剥离作业。
泵头护罩
密封圈
内六角螺栓
泵头盘
将泵头盘翻过来的状态
碗形密封气缸
泵头盘
O 环 S-67
泵头盘
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第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
2） 将碗形密封气缸上部的 O 环
S-67，换上新的 O 环。
※请按照密封圈的更换顺序,安装护罩。更换其它消耗部件时，请不要关闭护罩，参照各部位的更换
步骤操作。
●
更换 O 环 P-10
1） 用与更换密封圈同一要领，卸下泵头护罩和泵头盘。
2） O 环 P-10 安装到位于连接泵头护罩之间的连接管。事先，请确认 O 环上涂有真空黄油。
3） 更换中，请注意插入连接管时不要造成 O 环划伤。（1 根管内有 2 个）
※护罩的安装，请按照密封圈的更换顺序进行。在更换其它消耗部件时，请不要关闭护罩，参照各
部位的更换步骤操作。
O 环 S-67
碗形密封气缸
O 环 P-10 连接管
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