SP22P Mechanical20091001 - 第83页
31 KXF07JRAA00 PH-SENSOR PM-L53-C1 1 A 32 1939C211400 PIPE 1 33 1939C211410 PLATE 1 34 KXF06CPAA00 HOSE-BAND No.610 B-type free band φ32 2 35 1939C281361 HOSE Light hose φ25×1.7m 1 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 …
31 KXF07JRAA00 PH-SENSOR PM-L53-C1 1 A
32 1939C211400 PIPE 1
33 1939C211410 PLATE 1
34 KXF06CPAA00 HOSE-BAND No.610 B-type free band φ32 2
35 1939C281361 HOSE Light hose φ25×1.7m 1
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NO
番号
ＭＯ機番
ユニット名称
自動ﾏｽｸｸﾘ-ﾆﾝｸﾞ:SP22P-M
UNIT NAME
PART NUMBER
品番 部品名 型式 数量 ﾗﾝｸ 備考
Automatic mask cleaning:SP22P-M
PART LIST
MODULE NUMBER
パーツリスト
1939C2M0000
7-C
UNIT NUMBER
ユニットＮｏ.
PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS
− −58 09 0002−（ ）
