SP22P Mechanical20091001 - 第89页
31 KXF09GGAA00 BOX A-46 1 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 NO 番号 ＭＯ機番 ユニット名称 自動ﾏｽｸｸﾘ-ﾆﾝｸﾞ:SP22P-M UNIT NAME PART NUMBER 品番 部品名 型式 数量 ﾗﾝｸ 備考 Automatic mask cleaning:SP…
31 KXF09GGAA00 BOX A-46 1
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NO
番号
ＭＯ機番
ユニット名称
自動ﾏｽｸｸﾘ-ﾆﾝｸﾞ:SP22P-M
UNIT NAME
PART NUMBER
品番 部品名 型式 数量 ﾗﾝｸ 備考
Automatic mask cleaning:SP22P-M
PART LIST
MODULE NUMBER
パーツリスト
1939C2M0000
7-E
UNIT NUMBER
ユニットＮｏ.
PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS
− −62A 13A 0000−（ ）
