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1 Einleitung Betriebsanleitung SIPLACE CA4 V2 1.2 Bestückautomaten-Beschreibung Ab Softwareversion 713.0 Ausgabe 12/2019 20 1.2.2.2 W afer Level Fan Out W afer Level Fan Out wird für kleinere W erkstückträger mit verschi…
Betriebsanleitung SIPLACE CA4 V2 1 Einleitung
Ab Softwareversion 713.0 Ausgabe 12/2019 1.2 Bestückautomaten-Beschreibung
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1.2.2 Wafer- und Panel Level Fan Out Prozess
1.2.2.1 Panel Level Fan Out Prozess
Panel Level Fan Out wird für große Werkstückträger verwendet. Dabei wird auf einen Werkstück-
träger (z. B. aus Stahl oder Glas) eine doppelseitige Thermo-Releasefolie aufgebracht und auf
diese bestückt.
Im Modus Panel Level Fan Out wird ein Teil des Werkstückträgers im ersten Bestückbereich be-
stückt und der verbleibende Bereich im zweiten Bestückbereich. Um die geforderten Genauigkei-
ten zu erreichen werden die Marken auf dem Werkstückträger nur für eine grobe Lageerkennung
verwendet. Die Marken für die Groblagensuche müssen im überlappenden Bereich liegen. Zwei
sind ausreichend. Im überlappenden Bereich werden dann vier Bauelemente mit Markenstruktu-
ren bestückt, die dann zur Feinlage vermessen werden. Weitere mögliche oder nötige Passmar-
ken werden dann in Referenz zu diesen bereits bestückten Passmarken bestückt. Im zweiten
Bestückbereich werden dann die vier zuerst bestückten Passmarken vermessen und analog zum
ersten Bestückbereich verfahren.
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Abb. 1.2 - 2 Skizze zu Panel Level Fan Out
Marken für die grobe Lageerkennung auf dem Werkstück-
träger (Groblage)
Überlappender Bereich
Bestückte Bauelemente zum Vermessen der Feinlage.
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1.2.2.2 Wafer Level Fan Out
Wafer Level Fan Out wird für kleinere Werkstückträger mit verschiedenen Dicken verwendet.
Das dabei verwendete Vakuum Tooling kann temperiert werden.Für den Wafer Level Fan Out
Prozess steht der Tankstellenmodus bereit.
Im Tankstellenmodus fahren zwei Werkstückträger gleichzeitig in den Bestückautomaten ein.
Der erste Werkstückträger wird in den zweiten Bestückbereich transportiert, der nachfolgende
Werkstückträger in den ersten Bestückbereich. Anschließend erfolgt ein gleichzeitiges Klemmen
der beiden Werkstückträger. Somit wird vermieden, dass Klemmvorgänge einen Genauigkeitsein-
fluss auf den jeweils anderen Werkstückträger haben. Die Bestückung der beiden Werkstückträ-
ger erfolgt parallel. Eine Voraussetzung für den Tankstellenmodus ist, dass die Rüstung im
ersten und zweiten Bestückbereich gleich sein müssen.
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1.2.3 Seriennummer des Bestückautomaten
Die Seriennummer des Bestückautomaten befindet sich an der Innenseite des Maschinenstän-
ders an Stellplatz 1.
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Abb. 1.2 - 3 Lage des Typenschildes mit der Seriennummer
(T) Leiterplatten-Transportrichtung
(1) Typenschild
(1)