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Inhalt Betriebsanleitung SIPLACE CA4 V2 Ab Softwareversion 713.0 Ausgabe 12/2019 4 2.2.3 Bedeutun g und Beschreibung de r Warnschilder (Standardbesch ilderung) . . . . . . 38 2.2.3.1 Hinweisschild M002 . . . . . . . . . …
Betriebsanleitung SIPLACE CA4 V2 Inhalt
Ab Softwareversion 713.0 Ausgabe 12/2019
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Inhalt
1 Einleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13
1.1 Wichtige Hinweise zur Betriebsanleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
1.1.1 Inhalt und Aufbewahrung der Betriebsanleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
1.1.2 Gefahrenhinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
1.1.3 Mängelhaftung durch den Hersteller/Lieferer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
1.1.4 Übersicht über die Ausgabestände . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
1.1.5 Weitere Informationen und Inhalte des Dokumentationspakets. . . . . . . . . . . . . . . 14
1.1.5.1 Wo bekommen Sie Informationen? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
1.1.5.2 SIPLACE im World-Wide-Web (WWW) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
1.1.6 Abkürzungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
1.2 Bestückautomaten-Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
1.2.1 SIPLACE CA4 V2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
1.2.2 Wafer- und Panel Level Fan Out Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
1.2.2.1 Panel Level Fan Out Prozess. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
1.2.2.2 Wafer Level Fan Out . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
1.2.3 Seriennummer des Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
1.2.4 EG-Konformitätserklärung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
1.2.5 Bestimmungsgemäße Verwendung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
1.2.6 Nicht bestimmungsgemäße Verwendung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
1.2.7 Geräuschemissionsangabe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
1.2.8 Wichtige Hinweise zur umweltfreundlichen Entsorgung von Materialien . . . . . . . . 24
1.2.9 Elektromagnetische Verträglichkeit (EMV). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
1.2.10 Hinweis zum Original-SIPLACE Zubehör. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
1.3 Personalqualifikation und Schulung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .25
1.4 Bedienebenen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
2 Betriebssicherheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .27
2.1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
2.1.1 Konvention zur Verwendung von Gefahrensymbolen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
2.1.2 Qualifiziertes Personal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
2.1.3 Wichtige Hinweise zur Betriebssicherheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
2.1.3.1 Allgemeines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
2.1.3.2 Zur Sicherheit von Personen und Bedienpersonal. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
2.1.3.3 Zur Sicherheit von Anlagen und Geräten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
2.1.4 Sicherheitshinweise zu Laserbaugruppen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
2.1.5 Sicherheitshinweise zu Permanentmagneten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
2.2 Warnschilder . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
2.2.1 Warnschilder am Bestückautomaten (Standardbeschilderung) . . . . . . . . . . . . . . . 35
2.2.2 Warnschilder im Bestückautomaten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
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2.2.3 Bedeutung und Beschreibung der Warnschilder (Standardbeschilderung) . . . . . . 38
2.2.3.1 Hinweisschild M002 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
2.2.3.2 Warnschild Laser Klasse 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
2.2.3.3 Warnschild W 024 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
2.2.3.4 Warnschild W 012 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
2.2.3.5 Warnschild W 210 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
2.2.3.6 Warnschild W 209 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
2.2.3.7 Warnstreifen an den Schutzhauben . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
2.2.3.8 Warnstreifen im Ein- Ausgabebereich . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
2.2.3.9 Warnschild W 006 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
2.2.4 Gebotsschilder am Bestückautomaten bei Wafer Lane Transport. . . . . . . . . . . . . 42
2.2.4.1 Gebotsschild M004. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
2.2.4.2 Gebotsschild M009. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
2.2.5 Warnschilder am Bestückautomaten (Beschilderung für China) . . . . . . . . . . . . . . 44
2.2.6 Warnschilder im Bestückautomaten (Beschilderung für China) . . . . . . . . . . . . . . . 46
2.2.7 Bedeutung und Beschreibung der Warnschilder (China Beschilderung) . . . . . . . . 47
2.2.7.1 Warnschild W 209-CN . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
2.2.7.2 Warnschild W 204-CN . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
2.2.7.3 Warnschild W 004-CN mit Textschild Laser. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
2.2.8 Warnschild W 205 am Gurtschneidgerät . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
2.2.8.1 Warnschild W 205 an der Gurtabfallrutsche. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
2.2.8.2 Warnschild W 205 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
2.2.8.3 Warnstreifen an der Gurtabfallrutsche . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
2.2.9 Warnschilder an der Stromversorgung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
2.2.10 Warnschilder am SIPLACE SpeedStar C&P20 M2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
2.2.11 Bedeutung und Beschreibung der Warnschilder . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
2.2.11.1 Hohe Temperaturen am SIPLACE C&P20 M2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
2.2.11.2 Laser Klasse 2 am BE-Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
2.2.12 Warnschilder am SIPLACE MultiStar CPP M. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
2.2.12.1 Hohe Temperaturen am SIPLACE CPP M. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
2.2.12.2 Laser Klasse 2 am BE-Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
2.2.13 Hohe Temperaturen an der Modular Head Control Unit (MHCU) . . . . . . . . . . . . . 56
2.2.14 Warnschild am LP-Transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
2.2.14.1 Warnschild "Empfindliche Transportwangen" am Klemmblech . . . . . . . . . . . . . . . 57
2.2.14.2 Warnschild W 004 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
2.2.15 Sicherheitshinweise bei Wafer Lane Transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
2.2.15.1 Vorsicht vor herausspritzenden Flüssigkeiten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
2.2.15.2 Hohe Temperaturen am temperierbaren Vakuum Tooling DM 300 . . . . . . . . . . . . 59
2.3 Klassifizierung der optischen Systeme. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .60
2.3.1 Klassifizierung der Gesamtmaschine . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
2.3.1.1 Laserklassifizierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
2.3.2 Klassifizierung der Kamerasysteme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
2.3.2.1 Kameratypen mit hellen LEDs - Risikogruppe 1. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
2.3.2.2 Kameratypen mit blauen LEDs - Risikogruppe 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
2.4 Sicherheitshinweise zum Transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .62
2.4.1 Transport des Bestückautomaten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
2.5 Sicherheitshinweise zum Betrieb. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .63
2.5.1 Sicherheitshinweise zum Schließen der Schutzhauben. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
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2.5.2 Sicherheitshinweise zum Schließen der seitlichen Schiebetüren . . . . . . . . . . . . . 64
2.5.3 Manuelles Einlegen der Leiterplatte in das Eingabeband . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
2.5.4 Sicherheitshinweise für die Verarbeitung von Kondensatoren auf
Metallpulver-Basis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
2.5.5 Hinweis zur EGB-Sicherheit der Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
2.5.6 Sicherheitshinweise zum korrekten Einsetzen der Abwurfbehälter . . . . . . . . . . . . 66
2.5.7 Sicherheitshinweise zur Verwendung der Pipettenwechsler . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
2.5.8 Hohe Temperaturen an den X-Zuführmodulen bei Dauerbetrieb. . . . . . . . . . . . . . 68
2.5.9 Sicherheitshinweise zum An- und Abdocken des BE-Wagens . . . . . . . . . . . . . . . 69
2.5.10 Sicherheitshinweise zum Leeren des Gurtabfallbehälters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
2.6 Sicherheitseinrichtungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
2.6.1 Schutzhauben und Schiebetüren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
2.6.2 Eingreifschutz am Leiterplattentransport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
2.6.3 Schalter und Taster am Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
2.6.3.1 Lage von Schaltern und Tastern am Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
2.6.3.2 Lage der Positionsschalter am Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76
2.6.3.3 Funktionsbeschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 77
2.6.4 Sicherheitsabschaltung (CSB) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79
2.6.4.1 Übersicht über die Sicherheitsabschaltung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
2.6.4.2 NOT-HALT aktivieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82
2.6.4.3 NOT-HALT zurücksetzen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82
2.6.4.4 Rückstellen der Verriegelung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82
2.6.4.5 Auslösen der Verriegelung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82
2.6.4.6 Sicherheitsabschaltung mit SIPLACE Wafer System (SWS). . . . . . . . . . . . . . . . . 82
2.6.5 Eingreifschutz an den Stellplätzen mit Dummy-Feeder . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83
2.7 Restspannungen und Entladezeiten im Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84
2.7.1 Energiezustand des Bestückautomaten nach Ausschalten des Hauptschalters . . 84
2.7.2 Energiezustand am Netzstecker . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
2.7.3 Hauptschalter ausgeschaltet - Bestückautomat am Netz angeklemmt . . . . . . . . . 85
2.7.4 Hauptschalter ausgeschaltet - Bestückautomat vom Netz abgeklemmt . . . . . . . . 86
2.7.5 Druckluftverhältnisse im Bestückautomaten nach Abschalten des Hauptschalters87
2.8 Sperren der Druckluftzufuhr und Druckabbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88
2.9 Verriegeln und Anbringen von Warnschildern. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
2.9.1 Aufgabe und Zweck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
2.9.2 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
2.9.3 Testen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
2.9.4 Verantwortung und Pflichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
2.9.5 Schulung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
2.10 EGB-Richtlinien . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93
2.10.1 Was bedeutet EGB? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93
2.10.2 Wichtige Schutzmaßnahmen gegen statische Aufladung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93
2.10.3 Handhabung von EGB-Baugruppen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93
2.10.4 Messen und Ändern an EGB-Baugruppen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 94
2.10.5 Versenden von EGB-Baugruppen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 94