N7201A642C03(1)DX操作手册 - 第144页
NPM - DX EJM8D C - MB - 03O - 00 3-3-3 -3 基板 支 撑 销的 安装 2 3-3-3 16 ACTIVAT ION

NPM-DX EJM8DC-MB-03O-00
OFF SERVO ON
3-3-3-2
16
6
7
5
8
安装交换台车
(→P.2-4)
14
13
15
供台
ACTIVATION
OFF SERVO ON
4
换台车
(→P.2-4)

NPM-DX EJM8DC-MB-03O-00
3-3-3-3
基板支撑销的安装 2
3-3-3
16
ACTIVATION

NPM-DX EJM8DC-MB-03O-00
3-3-4
1
2
4
+
5
6
3
4
传送带的
3-3-4
7
+
7
(的基台)
传送带的。
基板,基板支撑块、支撑销。
要带传送带的。(基板确。)
生产的基板
(的,生产的
基板)
5
(传送的)
入的基板
(面)
入基板
的
确
(面)
2
5
1 3
3