N7201A642C03(1)DX操作手册 - 第247页
6 定期检查 每 24 小时保养
EJM80DC-MB-05O-00
NPM-DX
5-5-5
各单元部位 4
(件)
5-5
支撑销换
前
■支撑销 (换)
基板传送带
基板支撑块 (换)
6 定期检查
每24小时保养
NPM-DX EJM8DC-MB-06O-00
开前
的 1
6-1-1-1
6-1-1
确
供给的。
: 要 : 3 (ON)
1
2
1
2
3
4
主
(0.500 ~ 0.550 MPa)
供给
(B基台的)
(B 基台的)
供给
(A 基台的)
(A 基台的)
件