N7201A642C03(1)DX操作手册 - 第290页
NPM - DX EJM8D C - MB - 08O - 00 规格 外形尺寸 交换台车规格 8-1-3 -1 操作 手册 8 - 1 - 3 基板搬送高度 2 570 686 942 61 1 100 757 757 1650.4 ( 盖的外形 ) 1665 ( 传送带宽 度 ) 7.3 1658 ( 主体 ) 1444 1514 ( 横向放置信号塔时 ) 900 1629 ( 纵向放置信号塔时 ) 气体 7.3 942 686 6…
NPM-DX EJM8DC-MB-08O-00
规格
基板的传送方向
单轨模式
操作手册
8-1-2
前侧 前侧
1 2
1 2
基板搬送方向
基板搬送方向
前侧 前侧
基板搬送方向 基板搬送方向
基板搬送方向 基板搬送方向
双轨模式
8-1-2
●基板流动方向的更改，作为选项来对应。
●若要改成以内侧为基准 (单轨模式时) 的状态，将设备翻转来对应。
从左向右输送、前侧基准
从右向左输送、前侧基准
基准轨道
基准轨道
基准轨道
可动轨道
基准轨道
可动轨道
从左向右输送、内侧基准
从右向左输送、内侧基准
基准轨道
基准轨道
可动轨道
基准轨道
可动轨道
可动轨道
基准轨道
可动轨道
NPM-DX EJM8DC-MB-08O-00
规格
外形尺寸
交换台车规格
8-1-3-1
操作手册
8-1-3
基板搬送高度
2 570
686
942
61
1 100
757
757
1650.4 (盖的外形)
1665 (传送带宽度)
7.3
1658 (主体)
1444
1514 (横向放置信号塔时)
900
1629 (纵向放置信号塔时)
气体
7.3
942
686
67
基板搬送基准
(前轨道)
2 000
交换台车
基板搬送基准
(前轨道)
电源
1535
FRONT SIDE
交换台车 交换台车
FRONT SIDE
■连接交换台车时
(单位:mm)
外形尺寸
通知
●插图的比例尺寸从严格角度来看，与实际设备可能不一致。在决定生产构成、尺寸等时，请另外申
请资料。
●设备的下面如果要放置导管，需要与设备之间空开40 mm以上的距离。
NPM-DX EJM8DC-MB-08O-00
8-1-3-2