DF01-Rev02PDFA - 第32页
- 29 - 15. OPTION ( H EATER) オプショ ン（ヒータ） 24 24 25 27 28 26 35 36 32 33 A A 31 37 38 34 29 39 30 15 1 D D B B 6 7 9 10 13 14 16 17 18 19 22 23 C C 5 2 3 4
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NOTE( 注記 ) #01....PC ACCESSORIES ＰＣ 付属品
#02....THE PURCHASE UNIT IS TEN. 購入単位は 10 個です。
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1
#02
401-24554 NEEDLE
ニードル
1
2 401-23157 RUBBER TIP
ラバーチップ (0.5 ∼ 1.0 角 )
8
3
#01
- KEYBOARD
キーボード
1
4
#01
- MOUSE
マウス
1
5 - LAN CABLE
ＬＡＮ ケーブル
1
6 - POWER SUPPLY CABLE
電源ケーブル
1
7 401-24116 MASK
マスク
1
8 40124098 LOCATING JIG
位置決め治具
1
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15. OPTION (HEATER)
オプション（ヒータ）
24
24
25
27
28
26
35
36
32
33
A
A
31
37
38
34
29
39
30
15
1
D
D
B
B
6
7 9
10 13
14
16
17
18
19 22
23
C
C
5
2
3
4
- 30 -
NOTE( 注記 ) #01....THE PURCHASE UNIT IS TEN. 購入単位は 10 個です。
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 401-24614 4G RING PALETTE ASSEMBLY
４インチグリップリング用パレット組
1
2 401-24615 5G RING PALETTE ASSEMBLY
５インチグリップリング用パレット組
1
3 401-24616 6G RING PALETTE ASSEMBLY
６インチグリップリング用パレット組
1
4 401-24581 PALETTE ASM
グリップリング用パレット組 Φ ８
1
5 401-24617 2INCHI T PALETTE ASSEMBLY
２インチワッフルトレイ用パレット組
1
6 401-24618 4INCHI T PALETTE ASSEMBLY
４インチワッフルトレイ用パレット組
1
7 401-24619 RUBBER TIP
ラバーチップ (0.3 ∼ 0.5 角 )
1
8 401-23157 RUBBER TIP
ラバーチップ (0.5 ∼ 1.0 角 )
1
9 401-24620 RUBBER TIP
ラバーチップ (1.0 ∼ 2.0 角 )
1
10 401-23158 RUBBER TIP
ラバーチップ (2.0 ∼ 3.0 角 )
1
11 401-24621 RUBBER TIP
ラバーチップ (3.0 ∼ 5.0 角 )
1
12 401-24622 RUBBER TIP
ラバーチップ (5.0 ∼ 8.0 角 )
1
13 401-24623 RUBBER TIP
ラバーチップ (8.0 ∼ 10.0 角 )
1
14
#01
401-24554 NEEDLE
針
1
15 401-24580 CASSETTE ASM
カセット組
1
16 401-24628 WAFER ALIGNMENT JIG
ウェハアライメント治具
1
17 401-24629 LEVEL SET JIG PALETTE
水準出し用治具パレット
1
18 401-24630 6 INCHI F RING PALETTE ASM
６インチフラットリングﾞ対応パレット組
1
19 401-24631 4 INCHI GRIP RING
４インチグリップリング
1
20 401-24632 5 INCHI GRIP RING
５インチグリップリング
1
21 401-24633 6 INCHI GRIP RING
６インチグリップリング
1
22 401-24634 8 INCHI GRIP RING
８インチグリップリング
1
23 401-24627 GRIP RING REPAPER JIG ASM
グリップリング貼り替え治具組
1
24 - SCREW M2X3
ねじ Ｍ２Ｘ３
2
25 401-24397 HEATER ASM
ヒータ組
1
26 401-24272 HEATER CABLE SUPPORT
ヒータケーブルサポート
1
27 - BOLT M2X6
六角穴ボルト Ｍ ２ Ｘ ６
2
28 - WASHER M2
平座金 Ｍ ２
2
29 401-24271 THERMOCOUPLE CONNECTOR FIXED PLATE
熱電対コネクタ固定板
1
30 401-24396 THERMOCOUPLE ASM
熱電対組
1
31 - SCREW M4X6
トラスねじ Ｍ ４ Ｘ ６
1
32 - BOLT M2X12
六角穴ボルト Ｍ ２ Ｘ １２
2
33 - WASHER M2
平座金 Ｍ ２
2
34 401-24494 TEMPERATURE CONTROL RELAY CABLE ASM
温調中継ケーブル組
1
35 - BOLT M2X12
六角穴ボルト Ｍ ２ Ｘ １２
1
36 - WASHER M2
平座金 Ｍ ２
1
37 401-24398 SOLID STATE RELAY
ソリッドステートリレー
1
38 401-24495 HEATER POWER CABLE ASM
ヒーター電源ケーブル組
1
39 401-24273 SW PANEL ASM HEATER OPTION
ＳＷ パネル組
1