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주간 점검 제 4 장 Nex t Generation, Multi- Functi onal Placer DE CAN S1 Ma inte nan ce Ha nd boo k 4-1 Head Fly Camera Lens 청소 유 지보 수 도 구 공기분사기, 알코올, 면봉, 렌치 조치 Step 1. "3. X Fram e 전 면이 동 " (1- 3페이 지) 를 참 조하여 X Fr am…

MEMO
Next Generation, Multi-Functional Placer
DECAN S1 Maintenance Handbook
3-18
일일 점검

주간 점검
제 4 장
Next Generation, Multi-Functional Placer
DECAN S1 Maintenance Handbook
4-1
Head Fly Camera Lens 청소
유지보수 도구
공기분사기, 알코올, 면봉, 렌치
조치
Step 1.
"3. X Frame 전면이동" (1-3페이지) 를 참조하여 X Frame을
전면으로 이동
Step 2.
OP패널의 'EMG' 버튼을 눌러서 작업을 정지 후 'STOP',
'RESET' 버튼을 차례대로 누르기.
자세한 사항은 "2. 비상정지 하기" (1-2페이지)를 참조
Step 3.
Camera Cover고정나사를 M3 렌치를 이용하여 풀어서
Camera Cover를 Head Assembly로부터 분리
Step 4.
공기분사기를 이용하여 카메라 렌즈의 먼지를 청소하고,
이물질이 완전히 제거되지 않았다면 면봉에 알코올을 소량
묻혀서 닦기
주 의
강한힘을 가하여 렌즈를 닦을 경우, 렌즈의 표면이 손상될 수 있음
Step 5.
"3. 비상정지 해제하기" (1-6페이지)를 참조하여 비상정지
해제하여 작업을 재진행
Head Fly Camera Lens 청소
제 4 장
주간 점검
(소요시간: 5분 / No. W-1)

주간 점검
제 4 장
Next Generation, Multi-Functional Placer
DECAN S1 Maintenance Handbook
4-2
Head Mirror 청소
주간 점검
유지보수 도구
공기분사기, 알코올, 면봉, 렌치
조치
Step 1.
"3. X Frame 전면이동" (1-3페이지) 를 참조하여 X Frame을
전면으로 이동
Step 2.
OP패널의 'EMG' 버튼을 눌러서 작업을 정지 후 'STOP',
'RESET' 버튼을 차례대로 누르기.
자세한 사항은 "2. 비상정지 하기" (1-2페이지)를 참조
Step 3.
공기분사기를 이용하여 Mirror의 먼지를 청소
Step 4.
이물질이 완전히 제거되지 않았다면 깨끗한 천에 알코올을 소량
묻혀서 닦기
주 의
강한힘을 가하여 닦거나 오염된 천으로 닦을경우, Mirror 표면의 코
팅이 손상 될 수 있음, 손상 시 C/S회사(STS) 또는 현지 대리점(Local
agent)으로 문의
Step 5.
"3. 비상정지 해제하기" (1-6페이지)를 참조하여 작업을 재진행
Head Mirror 청소
(소요시간 : 5분 / No. W-2)