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주간 점검 제 4 장 Nex t Generation, Multi- Functi onal Placer DE CAN S1 Ma inte nan ce Ha nd boo k 4-3 Solenoid V alve 점검 조치 Step 1. AN C에 CN04 0 Nozzle을 삽입 Step 2. 장비를 작동시 켜 AN C의 CN04 0 Nozzle을 He ad에 장착 Step 3. MM I의 '…

주간 점검

제 4 장

Next Generation, Multi-Functional Placer

DECAN S1 Maintenance Handbook

4-2

Head Mirror 청소

주간 점검

유지보수 도구

공기분사기, 알코올, 면봉, 렌치

조치

Step 1.

"3. X Frame 전면이동" (1-3페이지) 를 참조하여 X Frame을

전면으로 이동

Step 2.

OP패널의 'EMG' 버튼을 눌러서 작업을 정지 후 'STOP',

'RESET' 버튼을 차례대로 누르기.

자세한 사항은 "2. 비상정지 하기" (1-2페이지)를 참조

Step 3.

공기분사기를 이용하여 Mirror의 먼지를 청소

Step 4.

이물질이 완전히 제거되지 않았다면 깨끗한 천에 알코올을 소량

묻혀서 닦기

주 의

강한힘을 가하여 닦거나 오염된 천으로 닦을경우, Mirror 표면의 코

팅이 손상 될 수 있음, 손상 시 C/S회사(STS) 또는 현지 대리점(Local

agent)으로 문의

Step 5.

"3. 비상정지 해제하기" (1-6페이지)를 참조하여 작업을 재진행

Head Mirror 청소

(소요시간 : 5분 / No. W-2)

주간 점검

제 4 장

Next Generation, Multi-Functional Placer

DECAN S1 Maintenance Handbook

4-3

Solenoid Valve 점검

조치

Step 1.

ANC에 CN040 Nozzle을 삽입

Step 2.

장비를 작동시켜 ANC의 CN040 Nozzle을 Head에 장착

Step 3.

MMI의 'Diagnosis'메뉴를 선택하고, 'Vacuum'하위메뉴 선택

Step 4.

<Valve Check> 버튼을 클릭하고,'Valve Check'대화상자의

<Try> 콤보박스에서 Vacuum ON/OFF 횟수를 선택한 후

<Test> 버튼 클릭

Solenoid Valve 점검

(소요시간 : 20분 / No. W-3)

주간 점검

제 4 장

Next Generation, Multi-Functional Placer

DECAN S1 Maintenance Handbook

4-4

Solenoid Valve 점검

주간 점검

Step 5.

점검 결과 이상시 STS 또는 Local Agent로 연락하여 해당

Solenoid Valve를 교체

Solenoid Valve 점검 및 이상유무 확인과 관련된 자세한 사항은

Administrator's Guide의 "15.4 Vacuum'을 참조하십시오.

주 의

Vacuum Filter는 주간단위로 점검하시고 최대 6개월내 교환을 해야만

부품의 Pickup(흡착)을 위한 Vacuum이 정상적으로 형성됩니다.

솔레노이드 밸브는 소모품으로써 안정적인 작업을 위해서는 2년 주기

로 솔레노이드 밸브를 교환하는 것을 권장합니다.