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주간 점검 제 4 장 Nex t Generation, Multi- Functi onal Placer DE CAN S1 Ma inte nan ce Ha nd boo k 4-5 Head V acuum Filter 점검 및 교환 Head V acuum Filter 점검 및 교환 조치 Step 1. "3. X Fram e 전 면이 동 " (1- 3페이 지) 를 참 조하여 X Fr …

주간 점검
제 4 장
Next Generation, Multi-Functional Placer
DECAN S1 Maintenance Handbook
4-4
Solenoid Valve 점검
주간 점검
Step 5.
점검 결과 이상시 STS 또는 Local Agent로 연락하여 해당
Solenoid Valve를 교체
Solenoid Valve 점검 및 이상유무 확인과 관련된 자세한 사항은
Administrator's Guide의 "15.4 Vacuum'을 참조하십시오.
주 의
Vacuum Filter는 주간단위로 점검하시고 최대 6개월내 교환을 해야만
부품의 Pickup(흡착)을 위한 Vacuum이 정상적으로 형성됩니다.
솔레노이드 밸브는 소모품으로써 안정적인 작업을 위해서는 2년 주기
로 솔레노이드 밸브를 교환하는 것을 권장합니다.

주간 점검
제 4 장
Next Generation, Multi-Functional Placer
DECAN S1 Maintenance Handbook
4-5
Head Vacuum Filter 점검 및 교환
Head Vacuum Filter 점검 및 교환
조치
Step 1.
"3. X Frame 전면이동" (1-3페이지)를 참조하여 X Frame을
전면으로 이동
Step 2.
OP패널의 'EMG' 버튼을 눌러서 작업을 정지 후 'STOP',
'RESET' 버튼을 차례대로 누르기.
자세한 사항은 "2. 비상정지 하기" (1-2페이지)를 참조
Step 3.
Vacuum Filter의 변색을 확인 (필터 변색 점검 주기: 권장 매월
1회)
Step 4.
Vacuum Filter에서 Tube 분리
주 의
Vacuum Filter 점검 후 또는 교환 후 Filter와 Tube와 조립상태 확인
(소요시간 : 30분 / No. W-4)

주간 점검
제 4 장
Next Generation, Multi-Functional Placer
DECAN S1 Maintenance Handbook
4-6
Head Vacuum Filter 점검 및 교환
주간 점검
Step 5.
Vacuum Filter를 교체
Step 6.
"3. 비상정지 해제하기" (1-6페이지)를 참조하여 비상정지
해제하여 작업을 재진행
주 의
Vacuum Filter는 주간단위로 점검하시고 최대 6개월내 교환을 해야만
부품의 Pickup(흡착)을 위한 Vacuum이 정상적으로 형성됩니다.
교환 후에는 Filter와 Tube사이에 누기가 없는지 확인하십시오.
주 의
솔레노이드 밸브는 소모품으로써 안정적인 작업을 위해서는 2년 주기
로 솔레노이드 밸브를 교환하는 것을 권장합니다.