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월간 점검 제 5 장 Nex t Generation, Multi- Functi onal Placer DE CAN S1 Ma inte nan ce Ha nd boo k 5-9 Head Spindle, Mirror CAM 청소 및 도포 유 지보 수 도 구 극세사 천, 편도붓, 주사기, GREASE-GADUS_S2 V220 2 조치 Step 1. "3. X Fram e 전 면이 동 &qu…
월간 점검
제 5 장
Next Generation, Multi-Functional Placer
DECAN S1 Maintenance Handbook
5-8
Control Rack Cooling Fan 점검 및 청소
월간 점검
Step 4.
청소 후 Main Switch를 On
이상 소음 및 동작 이상을 보인다면 다시 장비의 Main Switch를 OFF하
고 Cooling Fan을 교환
주 의
Cooling Fan의 교환 작업은 위험을 수반하므로 당사 C/S회사(STS) 또
는 현지 대리점(Local Agent)으로 문의하여 조치
주 의
장비의 Main Switch를 ON시 Cooling Fan이 작동하므로 손에 상해를
입을 수 있으며, Cable등을 잘못 만지면 감전의 위험이 있으므로 각별
히 주의하여 작업
월간 점검
제 5 장
Next Generation, Multi-Functional Placer
DECAN S1 Maintenance Handbook
5-9
Head Spindle, Mirror CAM 청소 및 도포
유지보수 도구
극세사 천, 편도붓, 주사기, GREASE-GADUS_S2 V220 2
조치
Step 1.
"3. X Frame 전면이동" (1-3페이지)를 참조하여 X Frame을
전면으로 이동
Step 2.
OP패널의 'EMG' 버튼을 눌러서 작업을 정지 후 'STOP',
'RESET' 버튼을 차례대로 누르기.
자세한 사항은 "2. 비상정지 하기" (1-2페이지)를 참조
Step 3.
Vacuum Filter를 Tube에서 분리하여 공간을 확보한 후 극세사
천을 이용하여 LM Guide Rail 및 Ball Screw를 청소
Step 4.
주사기를 사용해 LM 가이드 레일에 그리스를 도포하고 작은
편도붓을 사용하여 Ball Spline 및 CAM에 그리스를 도포
Head Spindle, Mirror CAM 청소 및 도포
(소요시간 : 30분 / No. M-7)
월간 점검
제 5 장
Next Generation, Multi-Functional Placer
DECAN S1 Maintenance Handbook
5-10
Head Beam Splitter 점검 및 청소
월간 점검
유지보수 도구
공기 분사기
조치
Step 1.
"3. X Frame 전면이동" (1-3페이지)를 참조하여 X Frame을
전면으로 이동
Step 2.
OP패널의 'EMG' 버튼을 눌러서 작업을 정지 후 'STOP',
'RESET' 버튼을 차례대로 누르기.
자세한 사항은 "2. 비상정지 하기" (1-2페이지)를 참조
Step 3.
Head 아랫쪽에서 공기 분사기를 이용하여 Beam Splitter를
청소
Step 4.
"3. 비상정지 해제하기" (1-6페이지)를 참조하여 비상정지
해제하여 작업을 재진행
Head Beam Splitter 점검 및 청소
(소요시간 : 20분 / No. M-8)