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월간 점검 제 5 장 Nex t Generation, Multi- Functi onal Placer DE CAN S1 Ma inte nan ce Ha nd boo k 5-1 0 Head Beam Splitter 점검 및 청소 월간 점검 유 지보 수 도 구 공기 분사기 조치 Step 1. "3. X Fram e 전 면이 동 " (1- 3페이 지) 를 참 조하여 X Fr ame…
월간 점검
제 5 장
Next Generation, Multi-Functional Placer
DECAN S1 Maintenance Handbook
5-9
Head Spindle, Mirror CAM 청소 및 도포
유지보수 도구
극세사 천, 편도붓, 주사기, GREASE-GADUS_S2 V220 2
조치
Step 1.
"3. X Frame 전면이동" (1-3페이지)를 참조하여 X Frame을
전면으로 이동
Step 2.
OP패널의 'EMG' 버튼을 눌러서 작업을 정지 후 'STOP',
'RESET' 버튼을 차례대로 누르기.
자세한 사항은 "2. 비상정지 하기" (1-2페이지)를 참조
Step 3.
Vacuum Filter를 Tube에서 분리하여 공간을 확보한 후 극세사
천을 이용하여 LM Guide Rail 및 Ball Screw를 청소
Step 4.
주사기를 사용해 LM 가이드 레일에 그리스를 도포하고 작은
편도붓을 사용하여 Ball Spline 및 CAM에 그리스를 도포
Head Spindle, Mirror CAM 청소 및 도포
(소요시간 : 30분 / No. M-7)
월간 점검
제 5 장
Next Generation, Multi-Functional Placer
DECAN S1 Maintenance Handbook
5-10
Head Beam Splitter 점검 및 청소
월간 점검
유지보수 도구
공기 분사기
조치
Step 1.
"3. X Frame 전면이동" (1-3페이지)를 참조하여 X Frame을
전면으로 이동
Step 2.
OP패널의 'EMG' 버튼을 눌러서 작업을 정지 후 'STOP',
'RESET' 버튼을 차례대로 누르기.
자세한 사항은 "2. 비상정지 하기" (1-2페이지)를 참조
Step 3.
Head 아랫쪽에서 공기 분사기를 이용하여 Beam Splitter를
청소
Step 4.
"3. 비상정지 해제하기" (1-6페이지)를 참조하여 비상정지
해제하여 작업을 재진행
Head Beam Splitter 점검 및 청소
(소요시간 : 20분 / No. M-8)
월간 점검
제 5 장
Next Generation, Multi-Functional Placer
DECAN S1 Maintenance Handbook
5-11
X Frame LM Guide, Ball Screw 청소 및 주유
유지보수 도구
산업용 종이 와이퍼, 주유기, GREASE-GREASE_AFE-CA, 육각 렌치(M3, M4), 두께
2.0mm 철판
조치
Step 1.
"3. X Frame 전면이동" (1-3페이지)를 참조하여 X Frame을
전면으로 이동
Step 2.
OP패널의 'EMG' 버튼을 눌러서 작업을 정지 후 'STOP',
'RESET' 버튼을 차례대로 누르기.
자세한 사항은 "2. 비상정지 하기" (1-2페이지)를 참조
Step 3.
육각 렌치(M4)를 이용하여 비산 방지 커버의 텐션 조정용 볼트를
분리 후, 커버의 고정 Block과 Spacer의 간격이 0.5mm가 되지
않으면 고정 Block을 교체
X Frame LM Guide, Ball Screw 청소 및 주유
주 의
유지보수 전문 인력이 그리스 비산 방지 커버를 분해 및 조립해야 합
니다.
Step 4.
육각 렌치(M3)를 이용하여 아래 그림의 순서대로 커버를
고정하는 볼트를 분리
1
3
4
2
(소요시간 : 60분 / No. M-9)