KE-1070使用说明书 - 第706页
第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制 (2) 控制按钮 按动控制按钮，执行控制项目。 控制按钮的显示因控制项目而异。 选择要控制的项目，选择“打开（ O ）”按钮、“关闭( F )”按钮、“打开/关闭( / )”按钮或 按下 “F3”键、 “F4”键、 “F5” 键进行控制。 选中支撑台时，按 “上 （U） ”、 “下(D)”、 “上/下（/）”按钮进行控制。 (3) 状态显示 控制结束时显示各传感器、各单元的状态。 连续显示各…
第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
9-4-2 传送
9-4-2-1 个别控制传送
从菜单栏中选择“控制”/“传送”/“个别控制传送(I)”，则显示如下的个别控制传送画面。
图 9-4-2-1-1 传送类个别控制
(1) 控制项目
按下按钮，选择控制项目。
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第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
(2) 控制按钮
按动控制按钮，执行控制项目。
控制按钮的显示因控制项目而异。
选择要控制的项目，选择“打开（O
）”按钮、“关闭(F)”按钮、“打开/关闭(/)”按钮或
按下 “F3”键、“F4”键、“F5”键进行控制。选中支撑台时，按“上（U）”、“下(D)”、
“上/下（/）”按钮进行控制。
(3) 状态显示
控制结束时显示各传感器、各单元的状态。
连续显示各传感器、各信号、各单元的状态。
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第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
9-4-2-2 自动控制传送
从菜单栏中选择“控制（C）”/“传送（C）”/“自动控制传送(A)”，则显示如下的自动控
制传送画面。
图 9-4-2-2-1 自动控制传送
(1) 控制项目
用按钮来选择控制项目。
(2) 定位方式
用按钮来选择定位方式。
◆ 在控制项目中选中“初始化”、“基板搬出”、“解除基板固定”、“基板等待传感器/搬出传感器
检查”时，不能进行设置。
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