FX-3 操作手册（操作员）.pdf - 第25页
操作手册 Rev00 2- 12 2.请按下按钮「执行」 。 基板即可传入·夹紧。 选择「搬出基板」 ，按下「执行」 后，基板即可搬出。 请确认是否保持与生产时的动作同步传送基板，传送动作是否有问题。 ① 请按下按钮「基板传送」 。 ② 显示「基板传送」画面。 ③ 把基板安装在ＩＮ缓冲，确认连续动作时基板流动是否顺畅。 1.请选择 「搬入」 。 支援准备２ 确认基板传送
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＜步骤４＞ 调整 Y 夹紧
※ 使用厚度薄的基板时，Y 夹紧的压力过大会使基板弯翘。
弯翘大时，有时需要调整 Y 夹紧力度。
① 在传送控制画面上选择「外形基准气缸/挡块」，控制 Y 夹紧。
② 请确认夹紧后基板是否稳定。
①拧松间隔锁，旋转行程挡块，再加以固定。
Y 夹杆
※关于调整 Y 夹杆压力，请参见『使用说
明书 CD』的「2-7-1-3-1 夹杆压力的调整
（外形基准时）」。
请确认，薄板夹紧后，是否有弯翘。
若发现弯翘，请调整 Y 夹杆的压力。
②拧松调整螺母，调整弹簧力。
调整螺母 2
调整螺母 1
间隔锁
行程挡块
请选择「外形基准气缸/挡块」。
请选择「Y 夹紧」。
请操作「ON」/「OFF」。移动 Y
夹紧。
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2.请按下按钮「执行」。
基板即可传入·夹紧。
选择「搬出基板」，按下「执行」
后，基板即可搬出。
请确认是否保持与生产时的动作同步传送基板，传送动作是否有问题。
① 请按下按钮「基板传送」。
② 显示「基板传送」画面。
③ 把基板安装在ＩＮ缓冲，确认连续动作时基板流动是否顺畅。
1.请选择
「搬入」。
支援准备２ 确认基板传送
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在〈步骤 2〉变更了挡块位置时，基板的外形基准位置（停止位置）会出现变化，需要重新对准「外形
基准位置」。
※ 必须事先「搬入」基板。请参见「支援准备 ２ 确认基板传送」。
① 请按下按钮「外形基准位置」（入口／出口站点请都按同一操作方法操作）。
② 显示「外形基准位置」设置画面。
③ 请按下画面下的按钮「功能栏」－「示教」。
支援准备 3 取得外形基准位置
请在画面上把光标对准「停止挡销」
的「X」输入焦点上。
※ X 挡销 ＝ 挡块