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SIPLACE D1 / D2 9 スリーブのメンテナンス 2008 年 8 月版 8.1 IC モジュー ルのメンテナンス (SIPLACE D1 のみ ) 79 ① 穴の中で 1.4mm ドリルを時計方向に回して、 縦方向のバキューム穴から 汚れを取り除きま す。 ドリルをまわすと、穴から汚れ が取れます。 ② 1.1mm ドリルを使って、横方向のバキューム穴から汚 れを取り除きます。 9 このステップでは、実験室用手 袋を着用しま…
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8.1 IC モジュールのメンテナンス (SIPLACE D1 のみ ) 2008 年 8 月版
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SIPLACE D1 / D2 9 スリーブのメンテナンス
2008 年 8 月版 8.1 IC モジュールのメンテナンス (SIPLACE D1 のみ )
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① 穴の中で 1.4mm ドリルを時計方向に回して、縦方向のバキューム穴から汚れを取り除きま
す。
ドリルをまわすと、穴から汚れが取れます。
② 1.1mm ドリルを使って、横方向のバキューム穴から汚れを取り除きます。
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このステップでは、実験室用手袋を着用します。 9
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③ 吸入プレートの損傷をチェックします。
損傷している場合、交換します。
③ 乾いた、けばのないクロスを使用して、スリーブ吸入プレートを清掃します。
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