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Rev1.1 第 1 章 安装要领书 1-13 7-2. 取下传送轨道包装材料 传送轨道中央部 揭下固 定基准侧轨道和从动(活动)侧轨道的纤维丝带,请先取下夹着传送轨道中央部的泡沫包 装材料之后再揭纤维丝带。 图 7-2 < 包装时的注意 > ● 请勿接触传感器类。 ● 请勿在轨道坂块(黑色镀金部分)上加重负荷。

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7. 基板传送装置关系
7-1. 附属品的取下
从包装纸箱里取出后备销 2077 组(40069277)、手柄(E220670000)安装到点胶机上(16 个)。
请把手柄放在右侧的电动机护罩上。
图 7-1
BU 台
BU 销
手柄

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7-2. 取下传送轨道包装材料
传送轨道中央部
揭下固定基准侧轨道和从动(活动)侧轨道的纤维丝带,请先取下夹着传送轨道中央部的泡沫包
装材料之后再揭纤维丝带。
图 7-2
<包装时的注意>
● 请勿接触传感器类。
● 请勿在轨道坂块(黑色镀金部分)上加重负荷。

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8. 空气管道的连接
<程序>
1) 把工厂侧配管(φ12)安装到机械手阀门。
2) 转动机械手阀门的手柄,向机器主机里供给空气。
3) 向下拉真空器的压力调整手柄,然后转动,把使用空气压力调整为 0.49Mpa。
4) 请确认压力开关的界限值为 0.4MPa(4kgf/cm
2
)。
(工厂出货时已调整好。)
如要调整,请参考 QA 表进行。
(※此操作应在 9 电源电缆线的连接,接上电源后进行。)
5) 积水瓶里积了油或水之后,请按盖帽,转动积水瓶,从支架取下,然后扔掉。(安装时,请按照
相反的顺序进行安装。)
<注>
・向机器主机供给的空气,请一定使用经过干燥器干燥后的干燥空气。
・压力开关压力设定的调整,请参考 QA 表进行。
・向机器主机供气之前务必进行。请打开工厂设置机器一侧配管的空气,冲掉配管内的垃圾、污脏之
后再使用。
图 8-1
图 8-2
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