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Rev1.1 第 1 章 安装要领书 1-5 3-3. 基板的传送 请取下传送轨端部的气泡包装材料。 图 3-3-1 图 3-3-2
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第 1 章 安装要领书
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3-2. 安全防护罩
请揭下安全防护罩上贴的纤维丝带。
打开包装后，千万别在装置上面放置重物。
图 3-2
主机
防护罩 F
纤维丝带
注意
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第 1 章 安装要领书
1-5
3-3. 基板的传送
请取下传送轨端部的气泡包装材料。
图 3-3-1
图 3-3-2
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第 1 章 安装要领书
1-6
4. 基板传送高度和水平的调
整
4-1. 水平调整
１） 卸下护罩 FB 和护罩 RB，松 开
内六角螺栓（3 颗）及调节螺
母。（确认调节器脚应可以自
由移动。）
２） 按①→③→②→④→①→的顺
序可以很容易地提升调节器
的高度。
３） 调整前后方向的水平。把水
平仪设定成点线状态，然后
上下调节调节器①②、③④，
调整为包装中装的水平设定
表值±1 的刻度以内。
※ 把左侧的水平仪放在调节器
板 L 上。(参照图 4-1-3)
※传送高度 国内规格: H=900mm
出口规格: H=950mm
图 4-1-1
护罩 FB
护罩 RB
从下面看主体的情况