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(Weitergabe sowie Vervielfältigung dieser Unterlage, Verwertung und
Mitteilung ihres Inhalts sind nicht gestattet, soweit nicht ausdrücklich
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Mechanische Keramiksubstrat-Zentrierung HS-50 (Option) Nachrüstanleitung SIPLACE HS-50 Retrofitting Instructions
Mechanical Ceramic Substrate Centering HS-50 (Optional) Ausgabe 01/01 Issue
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Inhalt / Contents 0
Seite/Page
1 Nachrüstanleitung: Mechanische Keramiksubstrat-Zentrierung HS-50 . . . . . . . 7
1.1 Übersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.2 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
1.2.1 Definitionen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
1.3 Voraussetzungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.4 Nachrüstsatz, Werkzeug . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.4.1 Nachrüstsatz . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.4.2 Zusätzlich benötigtes Material. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
1.4.3 Werkzeuge und Prüfhilfsmittel, Verbrauchsmittel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
1.5 Ablauf der Nachrüstung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
1.5.1 Vorbereitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
1.5.2 Hubtischplatten ausbauen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
1.5.3 Hubtischplatten austauschen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
1.5.4 Vorhandene Niederhalter ausbauen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
1.5.5 Niederhalter aus dem Nachrüstsatz einbauen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
1.5.6 Einbau Hubtisch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
1.5.7 Montage der Keramiksubstrat-Zentrierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
1.5.8 Ansprechabstand des Näherungsschalters einstellen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
1.5.9 Anpassung an die Substratgröße . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
1.5.10 Y-Schlauchverbinder und Magnetventile einbauen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
1.5.11 Umrüsthandling TSP 200: Kabel verlegen und anschließen. . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
1.5.12 Serienhandling TSP 200: Kabel verlegen und anschließen . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
1.5.13 Anschlüsse im Bearbeitungsbereich herstellen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
1.5.14 Steckverbindungen prüfen, Maschine komplettieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
1.6 Aktivierung der Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
1.6.1 Übersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
1.6.2 Aktivierung und Konfiguration der Keramiksubstratzentrierung . . . . . . . . . . . . . . . . 40
1.7 Überprüfung der Funktion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
1.7.1 Überprüfung der Funktion der X-Zentriereinheit, OHNE Substrat. . . . . . . . . . . . . . . 44
1.7.2 Überprüfen der Gesamtfunktion und der Stopper-Position, MIT Substrat. . . . . . . . . 44
1.7.3 Anpassen der Stopperposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
1.7.4 Fehlermeldungen, mögliche Ursachen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48