_FX-3R_机器控制参数 - 第68页

Rev 4 .0 机器控制参数 2-5- 15 校准标记识别信息 2-5-15-1 设定项目 No. 项目 输入范围 单位 备考 最小值 最大值 1 校准台标记直径 0.1 µ m 2 共通标记直径 0.1 µ m 3 共通标记识别 结果界限 返回原点时识别结果界限 0.1 µ m 4 生产时识别结果界限 0.1 µ m 5 生产时校准台 识别触发器 生产暂停时间 ( 单位 : 1 秒 ) 1s 6 X 轴总移动距离 ( 单位 : 1m…