YSi-V_Ope_C - 第44页
1-5 1 3. 轴的组成 下面，介绍 YSi-V 检查机的伺服电机所控制的轴的组成与轴的运行方向。 ■ 单轨 ( 标准 ) Y轴 X轴 正方向 负方向 基板 传送轨 轴的组成 以右→左传送基板为例 W轴 激光高度感应器：选配 CZ轴 (选配) R轴 检查头 25105-M9-00 ■ 各轴的功能 轴名 功能 X 轴 沿传送基板的方向平行移动相机。 Y 轴 沿垂直于传送基板的方向移动相机。 CZ 轴 ( 选配 ) 调节检查头与基板…
1-4
1
2.传送装置
下面，介绍传送基板的传送装置部。
1. 主挡板
2. 顶板
4. 基板压板
6. 基板传感器
3. 顶针
传送装置
YSi-V传送部(单轨)
5. 夹紧式基板夹
25104-M9-00
1. 主挡板
传入传送装置内的基板碰到主挡板就会停下。
2. 顶板
在顶板上放置顶针，从下方支撑基板。
3. 顶针
放置在顶板上从下方支撑基板。根据基板的厚度调节高度使用。
4. 基板压板 ( 可调节 )
固定基板时从上方压住基板的边缘。
5. 夹紧式基板夹
从下方托起基板的边缘，与基板压板一起夹住基板的边缘来固定基板。
6. 基板传感器
安装在传送装置出入口处与固定基板的位置处。
1-5
1
3.轴的组成
下面，介绍 YSi-V 检查机的伺服电机所控制的轴的组成与轴的运行方向。
■ 单轨 ( 标准 )
Y轴
X轴
正方向
负方向
基板
传送轨
轴的组成
以右→左传送基板为例
W轴
激光高度感应器：选配
CZ轴
(选配)
R轴
检查头
25105-M9-00
■ 各轴的功能
轴名 功能
X 轴 沿传送基板的方向平行移动相机。
Y 轴 沿垂直于传送基板的方向移动相机。
CZ 轴 ( 选配 ) 调节检查头与基板的距离。
W 轴 调节传送宽度。
R 轴 使激光高度感应器 ( 选配 ) 转动。
1-6
1
■ 双轨 ( 选配 )
Y轴
X轴
正方向
负方向
基板
基板
传送轨
轨道2
轨道1
轴的组成
以右→左传送基板为例
W2轴
W1轴
CZ轴
(选配)
检查头
基准侧
传送轨
25106-M9-00
■ 各轴的功能
轴名 功能
X 轴 沿传送基板的方向平行移动相机。
Y 轴 沿垂直于传送基板的方向移动相机。
CZ 轴 ( 选配 ) 调节检查头与基板的距离。
W1、W2 轴 调节传送宽度。