YSi-V_Ope_C - 第58页
3-3 3 3. 基板的选择 从已创建的检查程序列表中选择准备检查的基板。 1 从检查程序列表中选择准备检查的基板。 在“基板切换”画面的程序列表中选择基板之后，按 [ 读入程序 ] 按钮 ； 也可以直接用鼠标双击程序列表 内选定的行。 c 注意 读入检查程序之后，检查机会自动按照基板宽度 ( 基板 Y 尺寸 ) 调节传送宽度，因此务必预先取出顶针。 选择基板 读入的检查程序名 基板示意图 选择基板 [读入程序]按钮 26301-…
3-2
3
2.暖机运行
启动检查机之后，首先需进行暖机运行。
n
要点
暖机运行的时间为 15 分钟左右。但，如果完成上次生产 2 小时之内再开机时，可以省略暖机运行。
1
完成作业前的点检之后，启动检查机。
关于作业前的点检项目与启动检查机的方法，请参照前述第 2 章“2.1 开机”。
2
开始暖机运行。
c
注意
开始暖机运行之前，务必确认传送轨上没有基板。使用了顶针时，也务必取出。暖机运行过程中，如果发生异常，必须按 [ 停止 ]
按钮中断运行，并查明原因进行解决。
1. 按 [ 暖机运行 ] 按钮，打开“暖机运行”画面。
2. 按 [ 开始 ] 按钮，开始暖机运行。
“基板切换”画面
暖机运行
[暖机运行]按钮
26300-M9-00
n
要点
需要指定暖机时间时，按 [ 定时暖机 ] 按钮之后输入暖机运行的时间。
3
结束暖机运行。
按 [ 停止 ] 按钮，结束暖机运行。暖机运行只需 15 分钟左右即可。
4
按 [ 关闭 ] 按钮，返回“基板切换”画面。
3-3
3
3.基板的选择
从已创建的检查程序列表中选择准备检查的基板。
1
从检查程序列表中选择准备检查的基板。
在“基板切换”画面的程序列表中选择基板之后，按 [ 读入程序 ] 按钮 ；也可以直接用鼠标双击程序列表
内选定的行。
c
注意
读入检查程序之后，检查机会自动按照基板宽度 ( 基板 Y 尺寸 ) 调节传送宽度，因此务必预先取出顶针。
选择基板
读入的检查程序名 基板示意图选择基板
[读入程序]按钮
26301-M9-00
2
确认读入的检查程序。
确认状态栏里显示的检查程序名是否与选定的基板名一致。
3-4
3
4.传送装置的调节
支撑基板使用了顶针时，若检查与前次不同的基板，必须调节传送宽度并切换顶针。传送宽度，在读入基板程序
之后会自动调节。因此，在此只介绍排列顶针、确认基板支撑状态的方法。
n
要点
使用顶针时，需按 [ 数据编辑 ] 按钮，将“基板”选项卡中的“顶针”设置为“标准速度”或“以高速”，否则顶针无法使用。
■ 调节流程
传入基板
选择基板
取出顶针
调节顶针高度
排列顶针
按[顶针]按钮，升起顶板
按[顶针]按钮，降下顶板
按[更换基板]按钮
确认基板固定状态
按[更换基板]按钮
传出基板
将检查机置于紧急停机状态
将检查机置于紧急停机状态
解除检查机的紧急停机状态
非常停止を解除する
调节流程图
排列顶针
25301-M9-00