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8. 1 年 4-22 8.1 W 轴部 4-22 8.1.1 W 轴滚珠丝杆的清洁、加油 4-22 8.1.2 W 轴导轨的清洁、加油 4-23 8.1.3 六角轴的清洁、加油 4-24 8.2 气、雾过滤器的点检与清洁 4-25 9. 易耗件的更换方法 4-27 9.1 基板传送部的清洁与传送带的更换 4-27 9.2 UPS ( 不间断电源 ) 蓄电池的更换 4-29
第 4 章 维护保养
目录
作业前 4-1
1. 保持机器的性能 4-2
1.1 必备条件与环境条件 4-2
1.2 定期点检与清洁的重要性 4-3
1.3 控制湿度的重要性 4-3
2. 维护保养项目一览 4-4
3. 维护保养作业前的准备 4-6
3.1 易耗件 4-6
3.2 维护保养工具 4-7
3.2.1 清洁工具 4-7
3.2.2 加油工具、润滑油 4-8
3.3 必备工具 4-9
4. 每周 4-10
4.1 确认基板传感器的状态 4-10
4.2 确认基板夹的状态、动作 4-10
5. 每月 4-11
5.1 各轴的点检 4-11
5.2 滚珠丝杆和导轨的清洁、加油 4-12
5.2.1 X 轴滚珠丝杆的清洁、加油 4-12
5.2.2 X 轴导轨的清洁、加油 4-13
5.2.3 Y 轴滚珠丝杆的清洁、加油 4-14
5.2.4 Y 轴导轨的清洁、加油 4-16
5.3 相机照明的清洁 4-17
6. 3 个月 4-18
6.1 吸气扇部过滤网的清洁 4-18
6.2 CZ 轴 ( 选配 ) 滚珠丝杆的清洁、加油 4-19
7. 6 个月 4-20
7.1 标记器 ( 选配 ) 凸轮部的清洁、加油 4-20
7.2 控制箱过滤网的清洁 ( 仅限 TypeHS2 规格 ) 4-21
4-1
4
作业前
原则上，维护保养作业必须在切断主电源的状态下进行。
但，根据作业内容也有不得不接通电源在紧急停机状态下进行的作业。
此时，务必确认安全并按下紧急停机按钮之后再操作。
此外，根据作业内容，需要移动轴和确认运行动作时，接通电源之后再操作。
此时也务必确认安全之后再操作。
启动检查机时，必须满足下述条件。
■ 运行条件
1.已达到了适当的供给气压。
2.安全机盖已全部关闭。
3.电源已正常接通。