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4-27 4 9. 易耗件的更换方法 9.1 基板传送部的清洁与传送带的更换 ■ 需准备的用品 ‧ 内六角扳手 3mm、4mm、5mm ‧ 无尘纸 ‧ 细 刷 ‧ 新传送带 ‧ 方 巾 e 1 按下紧急停机按钮。 为保障作业安全， 务必将检查机置于紧急停机状态。 2 打开检查机正面的安全机盖。 3 放松传送带。 1. 在导轨与滚珠丝杆上垫上方巾。 2. 参照右图，用内六角扳手 (4、5) 拧松张紧轮的 螺栓之后，将张…
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5
拆卸滤芯。
‧
空气滤芯
如右图所示，将挡板向箭头所示方向旋松后从滤芯
部取下。
‧
油雾滤芯
如右图所示，将滤芯向箭头所示方向旋松后取下。
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6
检查滤芯的状态。
检查滤芯是否已脏污或网眼被堵塞。如果已脏污或
被堵塞时，必须换上新滤芯。
7
安装滤芯与过滤杯。
按照与拆卸时相反的步骤，安装滤芯与过滤杯。
参考
用手旋紧过滤杯时的扭矩需 2.2N
‧
m 左右。
8
安装空气连接器。
连接空气连接器，确认没有漏气。
拆卸滤芯
Step 5
油雾滤芯
空气滤芯
挡板
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9.易耗件的更换方法
9.1 基板传送部的清洁与传送带的更换
■ 需准备的用品
‧
内六角扳手 3mm、4mm、5mm
‧
无尘纸
‧
细 刷
‧
新传送带
‧
方 巾
e
1
按下紧急停机按钮。
为保障作业安全，务必将检查机置于紧急停机状态。
2
打开检查机正面的安全机盖。
3
放松传送带。
1. 在导轨与滚珠丝杆上垫上方巾。
2. 参照右图，用内六角扳手 (4、5) 拧松张紧轮的
螺栓之后，将张紧轮移到长孔最边端 ( 松缓方
向 )。
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4
拆卸传送带。
1. 用内六角扳手 (3) 拆下传送带驱动轮的螺栓之
后，将轴拔离驱动轮。
2. 将传送带从驱动轮与轴之间的空隙中取出。
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5
拆卸基板夹。
用内六角扳手 (3) 拆下固定基板夹的 4 根固定螺栓，
取出基板夹。
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放松传送带
Step 3
张紧轮
内六角扳手(4)
内六角扳手(5)
拆卸传送带
Step 4
轴
传动轮
从此处的空隙中取出传送带
拆卸基板夹
Step 5
基板夹的固定螺栓(4根)
基板夹
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6
从传送装置上取下传送带。
7
清洁传送部。
用细刷或无尘纸清洁传送轨托架与基板导轨之间的
缝隙。
8
安装新的传送带。
1. 将新的传送带挂在驱动轮上暂时定位。
2. 将轴连接到驱动轮并安上螺栓。
3. 移动张紧轮调节张力之后，拧紧螺栓。
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参考
使用张力计测量传送带张力时的目标值，如下所示。
‧
张力值 ：150 〜 180Nz
‧
跨距长度 ：138mm
c
注意
传送带张紧轮的拧紧扭矩，请务必设置为 5.5N
‧
m。
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安装基板夹。
1. 将基板夹嵌入原来的位置，用固定螺栓预固定。
2. 按 [ 手动操作 ] -“传送装置”画面的 [ 基板夹 ]
按钮，使基板夹为夹固状态之后，拧紧固定螺栓。
c
注意
调整基板夹之前，务必先连接气源并使基板夹上升为夹固状
态之后再进行。
0
确认传送带的安装状态。
1. 再次按 [ 手动操作 ] -“传送装置”选项卡画面
的 [ 基板夹 ] 按钮，使基板夹松开。此时，必
须确认基板夹前端是否在低于传送带上面约
0.5mm 的位置。
2. 按 [ 手动操作 ] -“传送装置”选项卡画面的传
送带驱动按钮 ([ 基板传动左 ]、[ 基板传动右 ]
按钮 )，使传送带转动，确认传送带的转动状态。
3. 若传送带转动不顺畅或过于挠曲时，必须调整
张紧轮的位置。再次转动传送带，边确认边调整。
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安装传送带
Step 8
测量张力的位置
138 mm
跨距长度
确认传送带的安装状态
Step 10
基板夹
0.5 mm
基板夹
传送带上面