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4-28 4 6 从传送装置上取下传送带。 7 清洁传送部。 用细刷或无尘纸清洁传送轨托架与基板导轨之间的 缝隙。 8 安装新的传送带。 1. 将新的传送带挂在驱动轮上暂时定位。 2. 将轴连接到驱动轮并安上螺栓。 3. 移动张紧轮调节张力之后，拧紧螺栓。 55430-M9-00 参考 使用张力计测量传送带张力时的目标值，如下所示。 ‧ 张力值 ： 150 〜 180Nz ‧ 跨距长度 ： 138mm c 注意 传送带张紧轮的拧紧扭矩，…
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4
9.易耗件的更换方法
9.1 基板传送部的清洁与传送带的更换
■ 需准备的用品
‧
内六角扳手 3mm、4mm、5mm
‧
无尘纸
‧
细 刷
‧
新传送带
‧
方 巾
e
1
按下紧急停机按钮。
为保障作业安全，务必将检查机置于紧急停机状态。
2
打开检查机正面的安全机盖。
3
放松传送带。
1. 在导轨与滚珠丝杆上垫上方巾。
2. 参照右图，用内六角扳手 (4、5) 拧松张紧轮的
螺栓之后，将张紧轮移到长孔最边端 ( 松缓方
向 )。
55427-M9-00
4
拆卸传送带。
1. 用内六角扳手 (3) 拆下传送带驱动轮的螺栓之
后，将轴拔离驱动轮。
2. 将传送带从驱动轮与轴之间的空隙中取出。
55428-M9-00
5
拆卸基板夹。
用内六角扳手 (3) 拆下固定基板夹的 4 根固定螺栓，
取出基板夹。
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放松传送带
Step 3
张紧轮
内六角扳手(4)
内六角扳手(5)
拆卸传送带
Step 4
轴
传动轮
从此处的空隙中取出传送带
拆卸基板夹
Step 5
基板夹的固定螺栓(4根)
基板夹
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6
从传送装置上取下传送带。
7
清洁传送部。
用细刷或无尘纸清洁传送轨托架与基板导轨之间的
缝隙。
8
安装新的传送带。
1. 将新的传送带挂在驱动轮上暂时定位。
2. 将轴连接到驱动轮并安上螺栓。
3. 移动张紧轮调节张力之后，拧紧螺栓。
55430-M9-00
参考
使用张力计测量传送带张力时的目标值，如下所示。
‧
张力值 ：150 〜 180Nz
‧
跨距长度 ：138mm
c
注意
传送带张紧轮的拧紧扭矩，请务必设置为 5.5N
‧
m。
9
安装基板夹。
1. 将基板夹嵌入原来的位置，用固定螺栓预固定。
2. 按 [ 手动操作 ] -“传送装置”画面的 [ 基板夹 ]
按钮，使基板夹为夹固状态之后，拧紧固定螺栓。
c
注意
调整基板夹之前，务必先连接气源并使基板夹上升为夹固状
态之后再进行。
0
确认传送带的安装状态。
1. 再次按 [ 手动操作 ] -“传送装置”选项卡画面
的 [ 基板夹 ] 按钮，使基板夹松开。此时，必
须确认基板夹前端是否在低于传送带上面约
0.5mm 的位置。
2. 按 [ 手动操作 ] -“传送装置”选项卡画面的传
送带驱动按钮 ([ 基板传动左 ]、[ 基板传动右 ]
按钮 )，使传送带转动，确认传送带的转动状态。
3. 若传送带转动不顺畅或过于挠曲时，必须调整
张紧轮的位置。再次转动传送带，边确认边调整。
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安装传送带
Step 8
测量张力的位置
138 mm
跨距长度
确认传送带的安装状态
Step 10
基板夹
0.5 mm
基板夹
传送带上面
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9.2 UPS ( 不间断电源 ) 蓄电池的更换
检查机附带的 UPS 蓄电池的使用寿命有限。受使用环境 ( 室温等 ) 的影响，更换频率虽然不同，但必须定期进行
更换。关于 UPS 蓄电池的详细内容与更换方法，请参阅 UPS 附带的使用说明书。
n
要点
更换 UPS 蓄电池之后，务必在 UPS 以及主控开关左侧的贴纸上 ( 记录栏内 ) 填写更换了蓄电池的年月日。