KE-2050_QA表 - 第31页

机 种 贴 装 头 板 开始 移 动 :50N以下 移 动中的变动 :10N以下 移 动 中 应 没有松 动,异常声音,振动。 ※移 动 速度大 约为 200mm/sec。 1.确 认 方法 用 弹簧 秤等50N以下的力量 开始 向P方向拉 夹具贴 装 头 板。 另外,X架端的止 动 橡胶粘 贴 部的26.5mm到678mm的行程之 间的力变动 应 在10N以下。 用手把 夹具贴 装 头 板在行程程度之 间 移 动,确认 LM 导向 部…

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板的前后方向行走真直 :20μm以内
板的高度方向行走真直 :20μm以内
1.确方法
(前后方向)把拨盘标尺安装到夹具板的中央,从X架端的止动橡胶粘贴部到
26.5mm的位置到678mm的行程之间,对I型伸缩平行度应在0.02以内。
(高度方向)把各拨盘标尺安装到夹具板的左右两端,X架端的止动橡胶粘贴部
前后方向的真直影响Y方向的装精度。
26.5mm的位置到678mm的行程之I型伸缩2处的平行度应在0.02以内。
高度方向的真直影响X方向的装精度。
2.调整方法
(前后方向)因没有调整机构,所以检查架、L导向器X、后轨道的部件精度
1.装精度恶化
2.发生吸附异常
3.因吸附不良发生芯片跳起,激光异常。
NO
NO. 担当人
5
-4
QA表 NO. 5 (1/2) NO. 5 (2/2)
GX-5
装置名称
XY装置(2)
方法及调整方法(故障处理方法)
功能名称
机架真
编制日期
2002/10/7
质量证类别
 功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
质量特性(规格调整值)
功能作用(规格调整值的意
预想故障应规格调整值不良而发生的故障)
对象元件
40000656
机架
变更
货号
品名
关质量特性
内容
40000660 倒轨
设定
40000659
LM向器X
日期
40000658 X机架端R
40000657 X机架端L
开始 :50N以下
动中的变动 :10N以下
没有松动,异常声音,振动。
※移速度大约为200mm/sec。
1.确方法
弹簧秤等50N以下的力量开始向P方向拉夹具贴板。
另外,X架端的止橡胶粘部的26.5mm到678mm的行程之间的力变动
在10N以下。
用手把夹具贴板在行程程度之动,确认LM导向应没有异常声音
和振(咕隆咕隆,比比)。
2.故障的处置方法
①.松移固定夹具贴板的螺,确认块部是否安装得紧固。
②.确2个LM导向器得平行度和度。
③.上述1、2没有问题时,确LM导向器的球转动面和内的球是否没有伤痕等
机械动作中的声音。
XY轴的稳定时间,稳定量。
1.LM向器的动作异常声音
2.LM导向器的磨
3.装精度恶化
NO
NO. 担当人
5
-5
QA表 NO. 6 (1/2) NO. 6 (2/2)
GX-5
装置名称
XY装置(3)
方法及调整方法(故障处理方法)
功能名称
动负荷
编制日期
2002/10/7
质量保证类别
 功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
质量特性(规格调整值)
功能作用(规格调整值的意
预想故障应规格调整值不良而发生的故障)
对象元件
40000656
变更
货号
品名
关质量特性
内容
设定
40000659
LM导向器X
日期
上下方向
所示的底座的Y部和
架的结合部的高低
上下方向高低差 :15μm以下 安装成15μm以下。
左右方向高低差 :0.1mm以下
左右方向
所示的底座的Y部和
架的结合部的高低
安装成0.1mm以下。
后通道上下方向和左右方向的真直度·平行度,降低寿命。
1.Y后通道损坏,故障
2.降低Y后通道寿命
3.Y轴后通道发生异常声音
4.Y后t通道的真直调整,平行调整不良。
NO
NO. 担当人
5
-6
QA表 NO. 7 (1/2) NO. 7 (2/2)
GX-5
装置名称
XY装置(4)
方法及调整方法(故障处理方法)
功能名称
机架组装(L尺寸机)
编制日期
2002/10/7
质量保证类别
 功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
质量特性(规格调整值)
功能作用(规格调整值的意
预想故障应规格调整值不良而发生的故障)
对象元件
40000701
机架L(L)
变更
货号
品名
关质量特性
内容
设定
40000702
机架R(L)
日期