JM-10-Rev05 - 第53页
- 48 - REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N 品 名 Qty 1 400-99550 VAC PUMP PLAT E 真空ポンププレート 1 2 SM-1051052- TN SCREW 皿ねじ Ｍ５ Ｌ＝１０ 4 3 PX-0552010-00 MUFFLER (PLA STIC) マフラ（樹脂製） 1 4 CM-3003000- 02 LABEL2 (25) 高温注意シール２（２５…
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24.VACUUM PUMP UNIT
真空ポンプユニット
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４５
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REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-99550 VAC PUMP PLATE
真空ポンププレート
1
2 SM-1051052-TN SCREW
皿ねじ Ｍ５ Ｌ＝１０
4
3 PX-0552010-00 MUFFLER (PLASTIC)
マフラ（樹脂製）
1
4 CM-3003000-02 LABEL2 (25)
高温注意シール２（２５）
1
5 400-99551 VAC PUMP RUBBER
真空ポンプラバー
1
6 400-99549 VAC PUMP BASE
真空ポンプベース
1
7 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
11
8 PJ-3010605-03 HALF UNION
ハ−フユニオン
1
9 400-79043 VALVE BRACKET ASM
バルブブラケット組
1
10 400-76882 VACUUM VALVE CABLE ASM
バキュームバルブケーブル組
(1)
11 PJ-3010405-05 HALF UNION
ハ−フユニオン
(6)
12 400-77357 HEAD VALVE BRACKET
ヘッドバルブブラケット
(1)
13 400-94360 HEAD COVER
ヘッドカバー
(1)
14 E3858-715-000 SEAL
手触れ禁止シール
(1)
15 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
(4)
16 SL-6030692-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
(4)
17 400-77276 FILTER BOX U70 ASM
フィルタボックスＵ７０組
(1)
18 400-62187 FILTER BOX L 70
フィルタボックスL ７０
(1)
19 400-46646 FILTER
フィルタ
(6)
20 400-46059 O RING F2
ＯリングＦ２
(6)
21 400-46058 O RING F1
ＯリングＦ１
(6)
22 SL-6031092-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
(2)
23 401-99457 SCREW_M3_L=40
座金付き六角穴ボルト＿Ｍ３＿Ｌ＝４０
(2)
24 HX-0009600-0A BUSH
エッジングブッシュ
(0.139)
25 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(4)
26 SM-4040601-SC SCREW M4X0.7 L=6
なべ小ねじ Ｍ４Ｘ０．７ Ｌ＝６
(4)
27 400-60551 FILTER SET PIN
フィルタセットピン
(6)
28 HX-0022300-00 ADJUSTABLE BUSH
自在ブッシュ
(0.12)
29 400-99548 VACUUM PUMP
真空ポンプ
1
30 PJ-3090852-02 DOUBLE BRANCH UNIVERSAL ELBOW
ダブルブランチユニバーサルエルボ
1
31 401-03158 VAC PUMP BASE 8
真空ポンプベース８
1
32 400-82019 FACE BR OP
フェイスＢＲ ＯＰ
1
33 401-03159 PUMP FAN BRACKET
ポンプファンブラケット
1
34 PJ-3010600-03 REDUCER
レデューサ
1
35 SL-4033091-SC SCREW M3 L=30
なべ小ねじセムス Ｍ３Ｘ０．５ Ｌ＝３０
4
36 400-54705 VAC FAN CABLE ASM
真空ポンプファンケーブル組
1
37 PX-9500070-00 PLUG
プラグ
1
38 PF-0200040-00 REGULATOR
レギュレータ
1
39 SM-6033002-TN SCREW M3 L=30
六角穴ボルト Ｍ３ Ｌ＝３０
2
40 400-46540 VACUUM METER
バキュームメータ
1
41 BT-0600400-EC TUBE HOSE, BLUE
ウレタンホース 青
10
42 PJ-3010600-03 REDUCER
レデューサ
1
43 PX-9500070-00 PLUG
プラグ
1
44 PJ-3030600-03 UNION
異形ユニオン
2
45 400-99554 VACUUM_PUMP_MAINTENANCE_KIT
真空ポンプメンテナンスキット
1
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25.SUPPORT TABLE & MTS CONNECT UNIT COMPONENTS(AFTER M/C REV.E)
サポートテーブル・ＭＴＳ 接続ユニット関係（マシン ＲＥＶ．Ｅ 以降）
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