JM-10-Rev05 - 第86页
- 81 - 41. SYSTEM DIAGRAM (POWER-UNIT EN 1/2) ＳＹＳＴＥＭ ＤＩＡＧＲＡ Ｍ（ＰＯＷＥＲ − ＵＮＩＴ ＥＮ １／２ ） TF1 TF1- 100-1 TF1- 100/ 0- 1 N.C. N.C. 5 6 AC100N 2 (VAC UUM PUMP) N.C. N.C. AC100L CN09 6 1 3 4 SAFETY-UNIT K3-4 K3-2 Y SERVO A MP CTR…
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REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 401-07260 R3E CABLE ASM
Ｒ３Ｅ ケーブル組
1
2 401-07265 TB2-815 CABLE ASM
ＴＢ２−８１５ ケーブル組
1
3 401-07264 TB2-613 CABLE ASM
ＴＢ２−６１３ ケーブル組
1
4 401-07271 PS6CN1 CABLE ASM
ＰＳ６ＣＮ１ ケーブル組
1
5 401-16315 PS8 IN CABLE ASM
ＰＳ８ インケーブル組
1
6 400-45333 PS2-CN1 CABLE ASM
ＰＳ２−ＣＮ１ ケーブル組
1
7 400-45334 PS5-CN1 CABLE ASM
ＰＳ５−ＣＮ１ ケーブル組
1
8 400-45335 PS7-CN1 CABLE ASM
ＰＳ７−ＣＮ１ ケーブル組
1
9 400-45336 PS4-CN1 CABLE ASM
ＰＳ４−ＣＮ１ ケーブル組
1
10 401-07261 PS2-CN2 CABLE ASM
ＰＳ２−ＣＮ２ ケーブル組
1
11 400-45342 CP6-TB3 CABLE ASM
ＣＰ６−ＴＢ３ ケーブル組
1
12 400-45368 CP6OUTPUT2 CABLE ASM
ＣＰ６ＯＵＴＰＵＴ２ ケーブル組
1
13 400-45344 PS5-CP7 CABLE ASM
ＰＳ５−ＣＰ７ ケーブル組
1
14 400-45346 PS7-CP9 CABLE ASM
ＰＳ７−ＣＰ９ ケーブル組
1
15 400-45348 PS4-CP10 CABLE ASM
ＰＳ４−ＣＰ１０ ケーブル組
1
16 401-07277 TB2-115 CABLE ASM
ＴＢ２−１１５ ケーブル組
1
17 400-45337 RL5-PS1 CABLE ASM
ＲＬ５−ＰＳ１ ケーブル組
1
18 400-45354 RL5-PS1 CABLE ASM
ＲＬ５−ＰＳ１ ケーブル組
1
19 400-45350 PS1-CP11 CABLE ASM
ＰＳ１−ＣＰ１１ ケーブル組
1
20 401-07275 CP3/4 IN CABLE ASM
ＣＰ３／４ インケーブル組
1
21 401-07276 CP3/4 OUT CABLE ASM
ＣＰ３／４ アウトケーブル組
1
22 400-45352 CN034 CABLE ASM
ＣＮ０３４ ケーブル組
1
23 401-07278 TB2-111 CABLE ASM
ＴＢ２−１１１ ケーブル組
1
24 400-45357 TB2-103 CABLE ASM
ＴＢ２−１０３ ケーブル組
1
25 400-25578 5V SHORT CABLE 1 ASM
５Ｖショート束線１組
1
26 400-25579 5V SHORT CABLE 2 ASM
５Ｖショート束線２組
1
27 400-76777 TB2 CABLE ASM
ＴＢ２ ケーブル組
1
28 401-16317 24VM RTN CABLE ASM
２４ＶＭ ＲＴＮ ケーブル組
1
29 401-16316 24VM CHK CABLE ASM
２４ＶＭ ＣＨＫ ケーブル組
1
30 401-16318 CP15 IN CABLE 1 ASM
ＣＰ１５ インケーブル１組
1
31 401-16319 CP15 IN CABLE 2 ASM
ＣＰ１５ インケーブル２組
1
32 401-16320 CP15 OUT CABLE ASM
ＣＰ１５ アウトケーブル組
1
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41.SYSTEM DIAGRAM (POWER-UNIT EN 1/2)
ＳＹＳＴＥＭ ＤＩＡＧＲＡＭ（ＰＯＷＥＲ − ＵＮＩＴ ＥＮ １／２）
TF1
TF1-100-1
TF1-100/0-1
N.C.
N.C.5
6
AC100N2
(VACUUM PUMP)
N.C.
N.C.
AC100L
CN096
1
3
4
SAFETY-UNIT
K3-4
K3-2
Y SERVO AMP CTRL POWER
Y SERVO AMP CTRL POWER
CN099
L11
L123
1
L11
L124
2
X SERVO AMP MAIN POWER
Y SERVO AMP MAIN POWER
5
4
ACT2
ACS2
ACR2
ACT2
ACS2
ACR2
A3
A2
A1
B1
B2
B3
11
9
10
K2-1
K2-3
K2-5
TF1-200/U
TF1-200/V
TF1-200/W
TF1
8
(XY-DRV POWER)
TB1
1
2
3
6
7
K1-1
K1-3
K1-5
SAFETY-UNIT
CN001
LOADLINE
FUJI CP53BS/020
CP1 7
5A
002:3B PS6-FG
002:3D ACL1(D)
002:3D ACL1(D)
ACN1(A)
002:2C
AWG22 AWG22
AWG22
AWG20
AWG20
AWG20
-V
-V
+V
+V
2
4
1
3
2
4
1
3
PS6
24V
60W
COSEL LCA50S-24Y
CN2CN1
5
4
2
3
1
FG5
N.C.4
N.C.
AC(N)
AC(L)
2
3
1
AWG20
(VOLTAGE CHECK)
(ZT-DRIVER POWER)
+24VZRTN
+24VZ
CN098
1
2
+24VZRTN
+24VZRTN
+24VZ
+24VZ
CN097
1
2
3
4
IDEC NRW10-3A
CP8 3A
LOADLINE
FUJI CP52BS/015
CP2 7
5A
POWER-PCB(1/2)
POWER-UNIT INSIDE
002:3C ACN1(B)
002:3C ACL1(B)
ACL1(A)
002:2CTF1-100-2
TF1-100/0-2
TB2(1/3)
Z/T POWER PCB
+48V
+48V
+48V
+48VRTN
+48VRTN
TB2
AC34V_N1
TB1
AC34V_L1
TB3
5
4
3
2
1
FUJI CP51BS/020
CP5 20A
+48UNRTN(B)8
TB7
+48UNRTN(A)
+48UNRTN(C)
7
9
+48UN
+48UN
5
6
CN037
1+24V1
3
2
+24VRTN
FAN_STOP
3
2
TB7
+48UN(A)
+48UN(A)
2
1
CN035
1
2
SV_ON11
+24VRTN
1
2
+48UN(B)
+48UN(B)
4
3
5
6
SV_ON11
+24VRTN
5
6
3
4
SV_ON11
+24VRTN
3
4
POWER-UNIT FAN
TB5
ACN1(C)
ACL1(C)
2
1
FAN
CN036
1
2
CARRY_SV_ON
+24VRTN
1
2
TB5
ACN1(B)
ACL1(B)
4
3
4
3
2
1
1
6
7
4
10
8
11
13
19
17
18
23
3
5
9
12
14
15
16
20
22
24
21
CP13 6A P&B W28XQ1A-6
CP14 6A P&B W28XQ1A-6
25
G7L-2A-BUBJ(DC24V)
3
2
1
(toBASEPCB)
VAC_PUMP_ON
N.C.
+24V
CN090
D6
2
0
1
6
8
4
RL6
2
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REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 401-07273 CP13/14 IN CABLE ASM
ＣＰ１３／１４ インケーブル組
1
2 401-51157 VAC PWR CBL 1 ASM
ＶＡＣパワーケーブル１組
1
3 401-51158 VAC PWR CBL 2 ASM
ＶＡＣパワーケーブル２組
1
4 401-07269 K2-TB1 CABLE ASM
Ｋ２−ＴＢ１ ケーブル組
1
5 400-45374 TB1-CN001 CABLE ASM
ＴＢ１−ＣＮ００１ ケーブル組
1
6 401-07268 K1-TB1 CABLE ASM
Ｋ１−ＴＢ１ ケーブル組
1
7 401-07256 CP1 CABLE ASM
ＣＰ１ ケーブル組
1
8 400-45355 CP1-TB1 CABLE ASM
ＣＰ１−ＴＢ１ ケーブル組
1
9 401-07270 CN099-TB1 CABLE ASM
ＣＮ０９９−ＴＢ１ ケーブル組
1
10 401-07275 CP3/4 IN CABLE ASM
ＣＰ３／４ インケーブル組
1
11 401-07278 TB2-111 CABLE ASM
ＴＢ２−１１１ ケーブル組
1
12 400-45316 ACFAN CABLE ASM
ＡＣＦＡＮ ケーブル組
1
13 400-45357 TB2-103 CABLE ASM
ＴＢ２−１０３ ケーブル組
1
14 400-45358 TB2-TB5 CABLE ASM
ＴＢ２−ＴＢ５ ケーブル組
1
15 400-45319 TB5-TB2 CABLE ASM
ＴＢ５−ＴＢ２ ケーブル組
1
16 400-45339 CN037 CABLE ASM
ＣＮ０３７ ケーブル組
1
17 401-07267 K3-CP2 CABLE ASM
Ｋ３−ＣＰ２ ケーブル組
1
18 400-45322 CP-TB CABLE ASM
ＣＰ−ＴＢ ケーブル組
1
19 400-76937 ZT POWER PCB ASM
ＺＴ パワー基板組
1
20 400-45323 TB3-TB7 CABLE ASM
ＴＢ３−ＴＢ７ ケーブル組
1
21 400-45324 TB3-CP5 CABLE ASM
ＴＢ３−ＣＰ５ ケーブル組
1
22 401-07272 CP5-TB7 CABLE ASM
ＣＰ５−ＴＢ７ ケーブル組
1
23 401-07271 PS6CN1 CABLE ASM
ＰＳ６ＣＮ１ ケーブル組
1
24 401-07263 PS6CN2 CABLE ASM
ＰＳ６ＣＮ２ ケーブル組
1
25 401-51159 VAC PWR CBL 3 ASM
ＶＡＣパワーケーブル３組
1