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第 4 章 生产程序制作 按 继续 键则继 续进行示教， 摄像机移动 到标记的 XY 坐标， 在监视画面上显示出示教对象 ( 要记 忆的 ) 的图案。 ※当监视器画面 上没有想 示教的图案时， 请确认输 入的坐标是否正 确。 ※对于陶瓷基板 标记 ( 标记为白色 ) ， 确认 后请再次按下 “ CAMERA ” 。 在此按摄像 机键， 可切换极性（对 比度） 。 ③ 请设定检测框。 按照上面、左面 、下面及 右面的顺序，利 用上下左 右…
第 4 章 生产程序制作
4-5-2-3 标记的示教
对识别标记用的信息进行示教。
为识别标记，需要标记的极性(黑白区别)、标记的大小、标记的形状、阈值(为区别周围与标
记的明亮度判断基准值)、检测框的大小等5种信息。
4-5-2-3-1 基板标记的示教
<步骤>
① 将光标移动到成为示教对象的数据的标记位置。
但进行识别的示教时，需预先输入标记的 X、Y 坐标。
图 4-5-15 基板标记示教(1)
② 请按 HOD 的 CAMERA 键。
●打开安全盖，显示如下的画面。
图 4-5-16 确认画面
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第 4 章 生产程序制作
按继续键则继续进行示教，摄像机移动到标记的XY坐标，在监视画面上显示出示教对象(要记
忆的)的图案。
※当监视器画面上没有想示教的图案时，请确认输入的坐标是否正确。
※对于陶瓷基板标记(标记为白色)，确认后请再次按下“CAMERA”。在此按摄像机键，
可切换极性（对比度）。
③ 请设定检测框。
按照上面、左面、下面及右面的顺序，利用上下左右箭头键(使用 FAST
键改变检测框的移
动速度)来调整、输入检测框。
此时，将自动识别标记，并获的校正所需的数据。
自动获得标记周围的干扰隔离级别，并显示在监视器上。
使用HOD的↑键、↓键(XY移动上下箭头键)进行调整,使标记清晰可见且周围的干扰非常小。
调整结束后请按ENTER键。
显示摄象机图形和长方形的框。
首先设定上面及左面的刻度框。
请调整至与标记的上面及左面一致。
调整完成后按 ENTER 键。
同样的，设定下面及右面的刻度框。
调整完成后按 ENTER 键。
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第 4 章 生产程序制作
● 当标记识别不稳定时，按下照明条件设定按钮，设定照明图案。
请在指定测定框的左上方前，设定照明图案。
图 4-5-17 照明条件设定
按下设置照明条件按钮，显示如下画面。请进行照明图案的设定。
图 4-5-18 照明图案设定
·可通过<应用>按钮来确认所设定光量下的图像。
照明图案 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用。
带 REGIST/保护膜的图
案照明
在标记上有 REGIST 或保护膜，标准照明时标记反射不佳，
识别不稳定时使用。
用户定义的照明
上述 2 种情况下标记的反射均不佳，识别不稳定时，直接
设定垂直、角度照明的光量时使用。
※用户定义的照明模式，一般设置在 50～200 之间。设置在 50 以下时，有
时光亮不稳定。
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