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第 4 章 生产程序制作 ④ 请选择标记的形 状。 标记的形状将被 自动判别 。 判别结果有误时， 请用 HO D 的↑键、 ↓键 (X 、 Y 移动上下箭 头键 ) 选择正确的标记 。 [＊] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] ＰＲ ⑤ 请进行检测框的 示教。 ④ 完成的操作后， 自动将大小为标 记尺寸 1. 5 倍的 窗口移动到 画面中心 ( 默认窗口 ) 。 想…
第 4 章 生产程序制作
● 当标记识别不稳定时，按下照明条件设定按钮，设定照明图案。
请在指定测定框的左上方前，设定照明图案。
图 4-5-17 照明条件设定
按下设置照明条件按钮，显示如下画面。请进行照明图案的设定。
图 4-5-18 照明图案设定
·可通过<应用>按钮来确认所设定光量下的图像。
照明图案 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用。
带 REGIST/保护膜的图
案照明
在标记上有 REGIST 或保护膜，标准照明时标记反射不佳，
识别不稳定时使用。
用户定义的照明
上述 2 种情况下标记的反射均不佳，识别不稳定时，直接
设定垂直、角度照明的光量时使用。
※用户定义的照明模式，一般设置在 50～200 之间。设置在 50 以下时，有
时光亮不稳定。
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第 4 章 生产程序制作
④ 请选择标记的形状。
标记的形状将被自动判别。判别结果有误时，请用HOD的↑键、↓键(X、Y移动上下箭头键)
选择正确的标记。
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[ ]ＰＲ
⑤ 请进行检测框的示教。
④ 完成的操作后，自动将大小为标记尺寸 1.5 倍的窗口移动到画面中心(默认窗口)。
想改变检测框时，按照与④相同的步骤进行。
按与刻度框同样的方式来设定检测框}
设定的方法与
刻度框相同。
完成调整后，按 ENTER 键。
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第 4 章 生产程序制作
⑥ 示教结束后，显示是否登录到标记数据库的信息框
图 4-5-19 基板标记示教(2)
将示教数据新登录进标记数据库中时，请输入登录名称，然后按下<新建>按钮。
当对已经登录的示教数据进行替换时,请输入替换的名称，将光标移至登录区域想要替换的
数据所在的行，然后按下<覆盖>按钮。
不将示教数据登录到标记数据库中时，请按下<取消>按钮。
至此，以识别为目的的示教操作结束。
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