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第 5 章 其它 功能 5-4-4-18 CAL 块标记脏污设置 设置返回原点和生产前是否进行标准块标记的脏污检查。 图 5-43 CAL 块标记的脏污检查 CAL 块标记脏污检查已经设置有初始值。请直接按下 [OK ] 按钮。 5-73

第 5 章 其它功能
5-4-4-17 VCS 脏污检查
检查 VCS 外罩玻璃脏污。
图 5-41 VCS 脏污检查
各项设定值初始值均已设定。请直接按下[检查]按钮。
[VCS 脏污检查]画面启动、按下[检查]按钮后,开始进行脏污检查。
检查结果显示在画面内的[状态]栏上。显示脏污时,请擦拭检查 VCS 外罩玻璃脏污。
图 5-42 VCS 脏污检查 执行对话框
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第 5 章 其它功能
5-4-4-18 CAL 块标记脏污设置
设置返回原点和生产前是否进行标准块标记的脏污检查。
图 5-43 CAL 块标记的脏污检查
CAL 块标记脏污检查已经设置有初始值。请直接按下[OK]按钮。
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第 5 章 其它功能
5-4-4-19 激光面接触检查
选择了激光面接触检查之后,下图所示的激光面接触检查设定对话框显示出来。
图 5-44 激光面接触检查对话框
●设定激光面接触检查
这是为了防止接触元件的激光 (MNLA) 玻璃表面,在通过吸附后的激光定位转动测定元件前的阶段,
检查是否接触到激光面的功能。
可以设定激光面接触检查时的容限值。
项目 详细内容 输入范围
检查容限值 在进行激光面接触检查时,设定元件和玻璃表面的距离的容
限值 (默认值 = 1.00 mm)。
0.10 ~ 5.00 mm
关于容限值
进行激光面接触检查时,把元件吸附点至元件端的长度作为(X、Y),然后通过以下的计算式预测是
否接触。
计算式
2/
22
GAPYX レーザマージン <++
不满足此计算式的条件时,即判断为接触激光面,立即停止生产。
在此计算式中,X
2
+ Y
2
的平方根表示元件旋转半径 (L) 。激光 GAP 在 MNLA 时为 34 mm,在 FMLA
时为 57mm。用 [检查容限值]设定的值在激光面接触检查的判定时,因为考虑中心偏差,加算到元件
转动半径(L)。
下图表示各项目之间的关系。
Center
Width
X
Center
Width
Y
Laser surface
Laser surface
LaserGap
Nozzle
Nozzle
Component
Component
Nozzle
L
Y
X
Margin
+容限值<激光
激光面
激光面
元件
元件
容限值
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