KE-2050_机器控制参数 - 第99页
R e v 1 . 0 0 机械控制参数 4-4-5 分割识别间距 （BGA） 图 4-4-5 分割识别间距 （BGA） (1) 设定画面的显示方法 菜单∶ [ 输入 ]→[ 图像 ]→[ 分割识别 ]→[ 间距 （BGA）] 起动∶ [ 图像 ] 按键 →[ 分割识别 ] 标签 →[ 间距 （BGA）] 按键 (2) 设定项目 输入范围 № 项目 最小值 大值 备考 最 单 位 1 模式 0 3 6 参照 (3) 模式 2 Ｘ 间距 …
Rev1.00
机械控制参数
4-4-4 分割识别间距
图 4-4-4 分割识别间距
(1)设定画面的显示方法
菜单∶ [输入]→[图像]→[分割识别]→[间距]
起动∶ [图像]按键→[分
(2)设定项目
输入范围
割识别]标签→[间距]按键
№ 项目
最小值 最大值
单
位
备考
1 模式 0 63 参照(3)模式
2 Ｘ间距
0.1
μm
3 Ｙ间距
0.1
μm
4
分割识别间距
Ｚ间距
0.1
μm
(3)图案
№ 类别 内 容
1 0 54.0mm 视野(标准)
2 1 37.5mm 视野(选购品 1)
3 2 27.0mm 视野(选购品 2)
4 3 18.0mm 视野(选购品 3)
5 4 27.0mm 视野(选购品/高分辨率)
6 5∼63 预备
4-53
Rev1.00
机械控制参数
4-4-5 分割识别间距（BGA）
图 4-4-5 分割识别间距（BGA）
(1)设定画面的显示方法
菜单∶ [输入]→[图像]→[分割识别]→[间距（BGA）]
起动∶ [图像]按键→[分割识别]标签→[间距（BGA）]按键
(2)设定项目
输入范围
№ 项目
最小值 大值
备考
最
单
位
1 模式 0 3 6 参照(3)模式
2 Ｘ间距
0.1
μm
3
0.1
Ｙ间距
μm
4
分割识别间距
GA)
μm
(B
Ｚ间距
0.1
(3)图案
№ 类别 内 容
1 0 54.0mm 视野(标准)
2 1 37.5mm 视野(选购品 1)
3 2 27.0mm 视野(选购品 2)
4 3 18.0mm 视野(选购品 3)
5 4 27.0mm 视野(选购品/高分辨率)
6 5∼63 预备
4-54
Rev1.00
机械控制参数
4-4-6 共面性装置的设定
图 4-4-6 共面性装置的设定
(1)设定画面的显示方法
菜单∶ [输入]→[图像]→[共面]→[装置设定]
起动∶ [图像]按键→[共面]标签→[装置设定]按键
(2)设定项目
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单
位
备考
1 共面装置设置方向 ° 0,90,180,270
2 共面装置扫描方向
0:Y+,1:Y-,2:X+,3:
X-
根据设置方向
0° :0(Y+),
90° :3(X-),
180°:1(Y-),
270°:2(X+)
3
共面装置分割方向
0:Y+,1:Y-,2:X+,3:
X-
根据设置方向
0° :2(X+),
90° :1(Y-),
180°:3(X-),
270°:0(Y+)
4 测量方式
标准测定方式,
高精度测定方式
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