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4-2 4 1 . 1 이오나이저 방전침의 청소 ( 매 월 ) 이 작업 은 , 매 월 또 는 이 오 나 이 저 본 체 의 LED 가 녹 색 으로 점 등 ( +PREC, -P REC ) 되 어 있 을 경 우 에 실 시 합 니다 . 1 이오나 이저의 전원을 OFF 합니다 . e 1 . 비상정 지 버 튼을 누 르고 , 장비의 안전커버 를 오 픈하면 , 이오 나이저 로의 전원 공 급이 차단됩 니다 .…

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4-1
4
1.
나이저 , 장기간의 사용으로 방전 ( ) 해서 노화되어 기능이 저하 , 방전
으로 교환요가 습니 . 또한 , 효과나 스를 해서 정기소도 시할 필요
습니 . 같이 해서 합니 .
c
주의
저의 방침 선단은 뾰족하며 전압이 흐르고 있습니 . 장비의 안전 커를 열면 , 이로의 전원공급은 차단됩
다만 , 장비내에서 유수 작을 실시할 경우는 , 이오이저의 선단부에 직접 손이 닿지 않도록 주해 주십시 .
오나이저 본체LED
+ -
Trinc
ERR PREC
GOOD
PREC
ERR
이오나이저 한 개에 3군데의 표시부가 있다
이오나이저
LED 표시내용
57400-L4-00
통상시 (GOOD): 파란
밸런보정 (+PREC, -PREC):
방전워져 상태입니다 . 방전요가 있습 .
밸런스의 비정 (+ERR, -ERR): 빨간색 점멸
방전아주 더러 , 노화되어 우려가 있습 . 장비측에도 표시됩니다 .
n
요점
나이의 제전 성능은, 제전 대이 되는 기판이나 부품의 제 , 형상에 따라 달므로 , 완게 제을 보할 수는 없
니다 .
4-2
4
1.1 이오나이저 방전침의 청소 ( )
작업, LED 으로 (
+PREC, -PREC
)
니다 .
1
이오나이저의 전원을 OFF 합니다 .
e
1. 비상정튼을 르고 , 장비의 안전커버
픈하면 , 이오나이저로의 전원급이 차단됩
니다 .
2. 저의 LED 소등되음을
인합니다 .
w
경고
전원을 OFF 한 직후 , 방전침에 전압이 남아 있로 ,
만지면 위험하오니 주의해 주십시오 .
2
방전침청소합니다 .
1. 이오나이저부속 브러시 , 또한 면봉 으로
방전센서선단의 움을 제거
십시오 .
2. 움이 제거않을 경우는 , 봉에 IPA
조금 적셔서 닦아 .
57401-L4-00
방전침의 청소
부속 브러시
센서의 청소부분
방전침
Step 2
4-3
4
1.2 이오나이저 방전침의 (2 )
「1.1 」를 , 하는
LED(+ERR, -ERR) 소등, 2 으로 (KHN-M83P1-
00X:NEEDLE SET/ 4 ) 요가 . 나이1 12
. 으로 1 , 124
(6 ) 필요합니다 .
1
이오나이저의 전원을 OFF 합니다 .
e
1. 비상정튼을 르고 , 장비의 안전커버
픈하면 , 이오나이저로의 전원급이 차단됩
니다 .
2. 저의 LED 소등되음을
인합니다 .
w
경고
전원을 OFF 한 직후 , 방전침에 전압이 남아 있로 ,
만지면 위험하오니 주의해 주십시오 .
2
방전침분리합니다 .
우측 림과 같방전크를 가락으
집어주십시 .
57402-L4-00
3
방전침교환합니다 .
방전교환때는 , 방전쪽의 돌기부분
장착쪽흠부를 맞춰서 주십시 .
4
전성능인합니다 .
플레모니경우는 제전성능을
확인해 주십시 .
1. 전원투입합니 .
2. 플레모니피더 흡착위부근에
놔두 , 제전 성능을 확인합니 .
n
요점
전 성의 규 , 피더 흡착의 감측정 시
(+1000V 의 대이 +100V 지 감하는 시 ):
15 초 이 .
을 교환해도 제전 성이 복귀지 않, 또
나이쪽에서 에가 계속 발할 경우에 , 대
는 야로 연락해 주십 .
n
요점
나이의 상한 사양은, 제의 취급 설를 참
해 주십 .
방전침의 분리
Step 2
후크