YS24X_Mainte_K - 第116页

4-4 4 2. U PS ( 무정전 전원 장치 ) 2. 1 UPS 배터리 의 교 환 ( 3 년 ) 배 터 리 에 는 , 수 명 이 있 습 니 다 . 주 변 온 도 등 의 사 용 환 경 에 따 라 다릅 니 다 만 , 보 통 3 년 을 기 준 으로 새 로 운 배 터 리 (K GA -M 6 5 66 - 3 0 X) 로 교 환 하실 것 을 권 장 합 니 다 . 다음 과 같이 UP S 의 내 장 용 …

100%1 / 155
4-3
4
1.2 이오나이저 방전침의 (2 )
「1.1 」를 , 하는
LED(+ERR, -ERR) 소등, 2 으로 (KHN-M83P1-
00X:NEEDLE SET/ 4 ) 요가 . 나이1 12
. 으로 1 , 124
(6 ) 필요합니다 .
1
이오나이저의 전원을 OFF 합니다 .
e
1. 비상정튼을 르고 , 장비의 안전커버
픈하면 , 이오나이저로의 전원급이 차단됩
니다 .
2. 저의 LED 소등되음을
인합니다 .
w
경고
전원을 OFF 한 직후 , 방전침에 전압이 남아 있로 ,
만지면 위험하오니 주의해 주십시오 .
2
방전침분리합니다 .
우측 림과 같방전크를 가락으
집어주십시 .
57402-L4-00
3
방전침교환합니다 .
방전교환때는 , 방전쪽의 돌기부분
장착쪽흠부를 맞춰서 주십시 .
4
전성능인합니다 .
플레모니경우는 제전성능을
확인해 주십시 .
1. 전원투입합니 .
2. 플레모니피더 흡착위부근에
놔두 , 제전 성능을 확인합니 .
n
요점
전 성의 규 , 피더 흡착의 감측정 시
(+1000V 의 대이 +100V 지 감하는 시 ):
15 초 이 .
을 교환해도 제전 성이 복귀지 않, 또
나이쪽에서 에가 계속 발할 경우에 , 대
는 야로 연락해 주십 .
n
요점
나이의 상한 사양은, 제의 취급 설를 참
해 주십 .
방전침의 분리
Step 2
후크
4-4
4
2. UPS( 무정전 전원장치 )
2.1 UPS 배터리 (3 )
, . 다릅 , 3 으로
(KGA-M6566-30X) 하실 . 다음같이 UPS
.
w
경고
배터리의 교환 작업 , 전기 작업의 경험 및 지식을 가진 분이 해 주십시오 .
1
장비의 전원을 차단합니다 .
장비의 전원차단하고 , 후에 UPS
OFF 주십시 .
w
경고
비상정지 상태 등 , UPS 기능이 작동하고 있는 상태에
업하지 마십시오 .
2
프론트 널을 분리합니다 .
드라이버장착나
십시오 .
57403-L4-10
3
배터리 커넥터를 분리합니다 .
UPS 측과 장용 커넥분리시켜
십시오 .
4
배터리 고정구합니 .
배터고정장착 빼서 , 배터
구를 탈착주십시오 .
5
새로배터리로 교환합니다 .
교환할 배터 , 새로합니
다.
6
원상태합니다 .
Step2~Step4 반대 으로 UPS 원상태
장착해 .
7
UPS 태를 확인합니다 .
1. 전원합니다 .
2. UPS 조작패「ON」버튼을 눌러서
BATTERY LED 소등되어 있는
십시오 .
8
배터리의 교환 날짜기록합니다 .
UPS 경고라 ( 본서안전의 잡이참조 )
배터리의 교환 날짜를 기록해 주 .
n
요점
UPS 의 상한 취급 설에 관해 , 옵션 매「UPS( 전 전 )」또 , 제조사의 취급 설를 참해 주십
시오 .
Step 2-6
UPS 내장용 배터리의 교환
UPS본체
장비 정면의 우측 아래
내장용 배터리
내장용 배터리측
커넥터
UPS측 배터리
커넥터
UPS 조작 패널
배터리 고정구
프론트 패널
프론트 패널 후크
배터리 고정구
장착나사
프론트 패널
장착나사
4-5
4
3. 노즐 스테이션
3.1 스테이션 센서의 상태확인과 청소 (1 )
( ) , 으로 확인요가
. 다음같이 .
참고
즐 스션 센로 노출이 정으로 되지 않 , 노즐 체가 올르게 동지 않, 노출 에에 의해 생
을 계할 수 없을 경가 있.
e
1
준비를 합니다 .
1. 모든 노즐을 스테이션돌립 .
2. 상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전커버
오픈합니다 .
2
노즐 스테이션 ( 이후 ANC) 셔터를
오픈합니다 .
1. [ 장 ]-헤드탭을 선택합니다 .
2. [ 노즐 STN 셔터 ] 버튼눌러서 , ANC
셔터열어 주십시 .
58400-L4-00
3
조정모드를 기동합니다 .
1. 셋업화면 좌측[ 조정 ] 튼을 누릅니 .
2. 로그창이 표시므로 , User:Operator
확인하 , [OK] 튼을 눌러 주십시 .
58401-L4-00
n
요점
정 모드「User:Operator」로 로그 , 장비 설
의 변나 저장을 할 수 없.
4
[
ANC Auto
] 선택합니다 .
[024 ANC Auto
] 버튼을 눌러 .
58402-L4-00
노즐 스테이션 셔터 열기
Step 2
조정모드 열기
Step 3
[조정] 버튼
[OK] 버튼 Operator
[ANC Auto] 선택
Step 4
[024 ANC Auto] 선택