YS24X_Mainte_K - 第135页
6-6 6 3 .2 솔레노 이드 밸브 의 교 환 1 공 급에 어와 장비의 전원을 차단합 니다 . 소프트웨 어 를 종 료 하 고 , 장비의 전원 스위 치 를 OFF 한 후 , 장비 좌 측하단 패 널 안의 「에어 공 급 / 배 출」밸 브를 우 측 으로 돌려서 에어 공급을 차단 해 주 십시오 . 5 7 606- L4-00 2 헤드 ( 테이블 ) 를 작 업하 기 쉬운 위치로 이동시킵 니다 . 1 .…
6-5
6
3. 이젝터부
3.1 이젝터 BIT 의 교환
1
공급에어와 장비의 전원을 차단합니다 .
장비 좌측하단 패널 안의「에어공급 / 배출」밸브
를 우측으로 돌려서 에어공급을 차단해 주십시오 .
57606-L4 -10
2
헤드 ( 테이블 ) 를 작업하기 쉬운 위치로
이동시킵니다 .
1. B 테이블의 작업은 XA 축의 위에서 손을 넣어
실행합니다 .
2. A 테이블의 작업은 장비의 뒤쪽으로 이동하여
XB 축의 위에서부터 실행합니다 .
3
정류판을 탈착합니다 .
1. 헤드의 바로 밑에 사각건을 깔아둡니다 .
2. 육각렌치로 정류판을 탈착해 주십시오 .
57607-L4-00
4
BIT 를 손으로 당겨서 빼냅니다 .
육각렌치로 캡을 좌측으로 돌려서 빼 주십시오 .
BIT 의 선단이 보이므로, 손으로 당겨서 빼냅니다.
c
주의
교환한 BIT 는 재사용 할 수 없습니다 . 재사용하면 정상적인
부품흡착을 할 수 없게 될 가능성이 있습니다 .
5
BIT 장착부를 청소합니다 .
옵션 구입품인 에어건과 광학계 청소용 면봉 등으
로 장착부의 먼지나 더러움을 제거합니다 .
6
새로운 BIT 를 장착합니다 .
먼저 캡에 O 링을 끼운 다음 , 새로운 BIT 를 캡에
끼웁니다 . BIT 를 장착부의 구멍에 삽입하고 , 캡
을 우측으로 돌려서 잠급니다 .
57608-L4-00
c
주의
BIT 의 캡이 정상적으로 잠겨져 있는지 확인해 주십시오 .
또한 , BIT 를 삽입하고 캡을 끼울때 , O 링이 빠져 나오지 않
도록 주의해 주십시오 .
7
정류판을 원상태로 장착합니다 .
1. 육각렌치로 Step3 에서 탈착시킨 정류판을 원
상태로 장착해 주십시오 .
2. 사각건을 정리합니다 .
8
에어를 공급합니다 .
장비 좌측하단 패널 안의「에어 공급 / 배출」밸브
를 좌측으로 돌려서 에어를 공급해 주십시오 .
공급에어의 차단
Step 1
에어공급/배출 밸브
정류판의 탈착
육각렌치정류판
Step 3
BIT의 분리
O링 캡BIT
Step 4
BIT 장착부
6-6
6
3.2 솔레노이드 밸브의 교환
1
공급에어와 장비의 전원을 차단합니다 .
소프트웨어를 종료하고 , 장비의 전원 스위치를
OFF 한 후 , 장비 좌측하단 패널 안의「에어공급 /
배출」밸브를 우측으로 돌려서 에어공급을 차단해
주십시오 .
57606-L4-00
2
헤드 ( 테이블 ) 를 작업하기 쉬운 위치로
이동시킵니다 .
1. B 테이블의 작업은 XA 축의 위에서 손을 넣어
실행합니다 .
2. A 테이블의 작업은 장비의 뒤쪽으로 이동하여
XB 축의 위에서부터 실행합니다 .
3
커넥터를 분리합니다 .
1. 헤드의 바로 밑에 사각건을 깔아둡니다 .
2. 교환할 솔레노이드 밸브의 커넥터를 뻬 주십시
오.
57609-L4-00
4
솔레노이드 밸브를 분리합니다 .
정밀 십자 드라이버를 사용해서 솔레노이드 밸브
를 고정하고 있는 나사 (2 개 ) 를 분리하여 주십시
오.
57610-L4-00
5
새로운 솔레노이드 밸브를 장착합니다 .
c
c
주의
밸브의 뒤쪽에는 개스킷이 끼워져 있으므로 , 누락이나 낙하
에 주의하면서 새로운 밸브로 교환해 주십시오 .
6
커넥터를 접속합니다 .
1. 교환한 솔레노이드 밸브의 커넥터를 원상태로
접속시켜 주십시오 .
2. 깔아둔 사각건을 정리합니다 .
7
공급에어와 장비의 전원을 투입합니다 .
장비를 기동하고 원점복귀를 해 주십시오 .
8
동작을 확인합니다 .
[ 장치 ]-「헤드」화면의 [ 진공 ], [ 블로우 ] 버튼
을 눌러서 이상 수치가 나오지 않는지 확인하여
주십시오 .
공급에어의 차단
Step 1
에어공급/배출 밸브
솔레노이드 밸브의 분리
Step 4
정밀 십자 드라이버
솔레노이드 밸브 개스킷
커넥터의 분리
Step 3
커넥터
6-7
6
3.3 청소용 블로우 밸브의 교환
1
공급에어와 장비의 전원을 차단합니다 .
1. 소프트웨어를 종료하고 , 장비의 전원을 OFF
합니다 .
2. 장비 좌측하단 패널내의「에어공급 / 배출」밸
브를 우측으로 돌려서 에어공급을 차단해 주
십시오 .
57606-L4-00
2
헤드 ( 테이블 ) 를 작업하기 쉬운 위치로
이동시킵니다 .
1. B 테이블의 작업은 XA 축의 위에서 손을 넣어
실행합니다 .
2. A 테이블의 작업은 장비의 뒤쪽으로 이동하여
XB 축의 위에서부터 실행합니다 .
3
커넥터를 분리합니다 .
1. 헤드의 바로 밑에 사각건을 깔아둡니다 .
2. 교환할 밸브의 커넥터를 뻬 주십시오 .
57611-L4-00
4
블로우 밸브를 분리합니다 .
정밀 십자 드라이버로 블로우 밸브의 고정나사 2
개를 풀어서 , 블로우 밸브를 분리하여 주십시오 .
57612-L4-00
5
새 청소용 블로우 밸브를 장착합니다 .
c
주의
밸브의 뒤쪽에는 개스킷이 끼워져 있으므로 , 누락이나 낙하
에 주의하면서 새로운 밸브로 교환해 주십시오 .
6
커넥터를 접속합니다 .
1. 교환한 밸브의 커넥터를 원상태로 접속시켜 주
십시오 .
2. 깔아둔 사각건을 정리합니다 .
7
공급에어와 장비의 전원을 투입합니다 .
장비를 기동하고 원점복귀를 해 주십시오 .
8
동작을 확인합니다 .
제3장「4.3 각 헤드의 블로우 밸브와 청소용 블로
우 밸브의 동작확인」을 참조해서 같은식으로
동작을 확인해 주십시오 .
공급에어의 차단
Step 1
에어공급/배출 밸브
청소용 블로우 밸브의 분리
Step 4
개스킷청소용 블로우 밸브
커넥터의 분리
Step 3
커넥터
청소용 블로우 밸브